高热导率氮化铝陶瓷的制造方法

    公开(公告)号:CN1130607A

    公开(公告)日:1996-09-11

    申请号:CN95117462.2

    申请日:1995-11-17

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种高热导率氮化铝陶瓷的制造方法,该方法以氮化铝粉体为原料,加入混合助烧结剂Dy2O3、CaO、B2O3等,混均成为AIN混合料,然后在混合料中加入粘结剂、分散剂、增塑剂等以后,用干压法或流延法将混合料制成AIN坯体,最后将排胶后的AIN素坯置于石墨加热炉中,通以流动N2气保护,在1550℃~1800℃下烧结,保温2~6小时,即可获得高致密度AIN陶瓷。本发明具有工艺简单、烧结易于控制、基片平整光滑等优点。

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