探针检测方法、结构、装置及电子设备

    公开(公告)号:CN118624945A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410700626.7

    申请日:2024-05-30

    发明人: 汪文廷

    IPC分类号: G01Q40/02 G01Q70/10 G01Q60/38

    摘要: 本公开实施例提供一种探针检测方法、结构、装置及电子设备,该方法包括:在待检测对象的检测过程中,响应于探针的扫描距离满足预设条件,根据第一预设指令控制探针移动至预设样本所在位置;预设样本用于构建探针的针尖形貌;根据第二预设指令控制探针扫描预设样本;获取探针扫描预设样本产生的用于构建针尖形貌的预设信息,基于预设信息构建针尖形貌;响应于根据针尖形貌确定需要更换探针,输出更换探针提示信息;响应于根据针尖形貌确定不需要更换探针,控制探针返回待检测对象所在位置,继续检测待检测对象。更准确地控制探针更换的时机,改善了使用磨损的探针造成的扫描结果失真的问题。