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公开(公告)号：CN119065143B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411562866.1
申请日：2024-11-05
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。测量物镜连接于基准座，分光棱镜活动设置于基准座内。第二调节组件活动设置于基准座，第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件的一侧具有旋转弧面，物镜转动调节件能够围绕旋转弧面的圆心转动，并带动参考物镜转动，以调节参考物镜的朝向。物镜转动调节件通过旋转弧面实现了对参考物镜的转动自由度的调节，与传统的利用多个支撑点的位置变化来带动调节板旋转的方案相比，结构更加简洁和紧凑。
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公开(公告)号：CN119065144B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411578151.5
申请日：2024-11-07
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件具有至少两个调节层，相邻的调节层之间形成调节间隙，调节间隙具有相对设置的开口侧和形变侧，开口侧具有将相邻的调节层分离的开口，形变侧设有将相邻的调节层连接的形变部。形变部能够在外力作用下发生形变，以使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，并带动参考物镜转动。通过形变部的受力形变使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，以实现对参考物镜的转动自由度的调节。
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公开(公告)号：CN119065143A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411562866.1
申请日：2024-11-05
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。测量物镜连接于基准座，分光棱镜活动设置于基准座内。第二调节组件活动设置于基准座，第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件的一侧具有旋转弧面，物镜转动调节件能够围绕旋转弧面的圆心转动，并带动参考物镜转动，以调节参考物镜的朝向。物镜转动调节件通过旋转弧面实现了对参考物镜的转动自由度的调节，与传统的利用多个支撑点的位置变化来带动调节板旋转的方案相比，结构更加简洁和紧凑。
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公开(公告)号：CN119065144A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411578151.5
申请日：2024-11-07
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件具有至少两个调节层，相邻的调节层之间形成调节间隙，调节间隙具有相对设置的开口侧和形变侧，开口侧具有将相邻的调节层分离的开口，形变侧设有将相邻的调节层连接的形变部。形变部能够在外力作用下发生形变，以使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，并带动参考物镜转动。通过形变部的受力形变使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，以实现对参考物镜的转动自由度的调节。
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