一种激光测量及面形特征数据管理方法

    公开(公告)号:CN117422674A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311339817.7

    申请日:2023-10-17

    Abstract: 本发明公开了一种激光测量及面形特征数据管理方法,可避免多表面激光测量时发生的频率镜像问题,并且实现被测件高精度检测以及面形数据的有效存储,利用区域像素点在不同截断函数下的频谱特征量化分析实现面形高精度检测,并对面形数据中包含面形特征的元素进行了整合管理。本专利所提出的方法主要包括基于区域频峰分析的采样特征量化、面形数据高效存储两个模块。基于区域频峰分析的采样特征量化包括:有效干涉区域像素点选取及频谱分析矩阵获取、不同截断函数下干涉峰值分析、不同截断函数下采样质量的频谱量化分析、区域干涉频率求解;面形数据高效存储包括:面形数据储存及初步处理、信息矩阵拓展与处理、面形模糊化处理。

    一种自适应谐波抗混叠的波长移相采样算法

    公开(公告)号:CN115507776A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211029023.6

    申请日:2022-08-26

    Inventor: 常林 李兵 于瀛洁

    Abstract: 本发明公开了一种自适应谐波抗混叠的波长移相采样算法,该算法包括1个频谱分析目标选择方法、1个子算法、3个频谱判据,根据所设计的子算法和频谱判据对采样结果进行判定,若不满足判据改变移相值和采样帧数并再次进行循环采样判定;所述的3个频谱判据包括:判据‑1是频峰间谷值及尾端频谱高度判断、判据‑2是头部峰值间隔判定、判据‑3是峰值相对高度判定,该算法容易实现,技术难度较低,方式新颖。

    一种多表面干涉测量中腔长反算算法

    公开(公告)号:CN115615351A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211029024.0

    申请日:2022-08-26

    Inventor: 常林 李兵 于瀛洁

    Abstract: 本发明公开了一种一种多表面干涉测量中腔长反算算法,该算法包括一个频峰独立采样的方法、一个频率采样折叠腔长反算方法、一个头部周期腔长反算方法。通过对多次不同采样下得到的光强数据进行分析,可以精确地对多表面测量中各干涉谐波的腔长进行反算,该算法容易实现,技术难度较低,方式新颖,计算精度高。

    一种基于分块频点判定的高精度检测方法

    公开(公告)号:CN115507775A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211029014.7

    申请日:2022-08-26

    Inventor: 常林 李兵 于瀛洁

    Abstract: 本发明公开了一种基于分块频点判定的高精度检测方法,主要包括一个腔长和电压匹配算法、一个干涉图分块求解频率算法,通过对当前测量距离、被测件光学厚度以及调谐电压三者之间的关系进行设定,并且进行分块频点判定进行频率求解,可以为任意测量位置下的平板元件高精度频率求解提供坚实的基础,该方法难度较低,方式新颖。

    一种自适应谐波抗混叠的波长移相采样算法

    公开(公告)号:CN115507776B

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202211029023.6

    申请日:2022-08-26

    Inventor: 常林 李兵 于瀛洁

    Abstract: 本发明公开了一种自适应谐波抗混叠的波长移相采样算法,该算法包括1个频谱分析目标选择方法、1个子算法、3个频谱判据,根据所设计的子算法和频谱判据对采样结果进行判定,若不满足判据改变移相值和采样帧数并再次进行循环采样判定;所述的3个频谱判据包括:判据‑1是频峰间谷值及尾端频谱高度判断、判据‑2是头部峰值间隔判定、判据‑3是峰值相对高度判定,该算法容易实现,技术难度较低,方式新颖。

    一种基于内插法的高精度干涉频率求解方法

    公开(公告)号:CN115511725A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211029002.4

    申请日:2022-08-26

    Inventor: 常林 李兵 于瀛洁

    Abstract: 本发明公开了一种基于内插法的高精度干涉频率求解方法,通过对预处理以后的干涉图进行光强提取、内插后进行频率求解,其中干涉图预处理算法包括:背景预分析、移相干涉图平均化处理、干涉图去背景处理,可以以较低的成本实现各干涉信号频率的高精度求解,技术难度较低,方式新颖。

Patent Agency Ranking