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公开(公告)号：CN113861847A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111097293.6
申请日：2021-09-18
Applicant: 杭州智谷精工有限公司 , 浙江工业大学 , 新昌浙江工业大学科学技术研究院
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明提供了高效超精密力流变抛光液，所述力流变抛光液的成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相，并在剪切力作用下具有非线性流变特性。取得了如下显著的进步：1)抛光效率高；吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”，防止磨粒陷入微米级固相粒子间隙或相互团聚，提高了参与加工的有效磨粒数，从而提升了抛光效率；2)热稳定性好；热稳定相吸收稳定抛光过程中产生的热量，防止抛光液由于温度升高剪切黏度降低导致流变特性衰退，从而提高抛光液的热稳定性；3)化学作用稳定性好；化学试剂缓释相向抛光液均匀释放化学试剂，从而提高抛光液的稳定性和使用寿命。
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公开(公告)号：CN113787383A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202111098365.9
申请日：2021-09-18
Applicant: 杭州智谷精工有限公司 , 浙江工业大学 , 新昌浙江工业大学科学技术研究院
IPC: B24B1/00 , B24B31/112 , C09G1/02
Abstract: 高效超精密力流变抛光方法，抛光时，工件与力流变抛光液做相对运动；所述力流变抛光液在剪切力作用下具有非线性流变特性，成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相；所述吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”；抛光过程中：所述缓释相均匀释放化学试剂维持抛光液中化学试剂浓度的稳定，化学试剂与工件反应在工件表面生成反应膜；在工件与抛光液相对运动产生的剪切力作用下，抛光液与工件接触界面形成贴合工件面形的流变层，流变层中的固相粒子发生团聚，并将“磨粒球”包裹后形成粒子团，粒子团与工件相对运动实现所述反应膜的去除；所述热稳定相吸收抛光过程产生的热量，维持抛光液温度和黏度的稳定。
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公开(公告)号：CN110757257A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911085505.1
申请日：2019-11-08
Abstract: 一种面向复杂曲面加工的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，包括工作电极模块、对电极模块、参比电极模块、电化学工作站、力流变抛光机、抛光液池和力流变抛光液，工作电极模块固定安装在力流变抛光机上，抛光工件作为工作电极与抛光液池内的力流变抛光液接触，与电化学工作站连接；对电极模块固定安装在力流变抛光机上，对电极与力流变抛光液接触，与电化学工作站相连；参比电极模块固定安装在力流变抛光机上，参比电极与力流变抛光液接触，与电化学工作站相连。本发明通过优化电化学反应和力流变机械力的协同作用，实现复杂曲面高表面完整性加工。同时，力流变抛光液是水基溶液，比热容大，可以有效抑制热的影响。
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公开(公告)号：CN115502870B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202211294837.2
申请日：2022-10-21
Applicant: 杭州科技职业技术学院 , 浙江工业大学
Abstract: 本发明涉及一种碳化硅晶片抛光设备，包括抛光机械臂、晶片表面等离子软化处理装置、晶片表面抛光装置。抛光机械臂的晶片吸盘上设有晶片电极，晶片电极与晶片吸盘拾取的碳化硅晶片导通，晶片表面等离子软化处理装置包括脉冲电源、不锈钢电极。水基电解液在脉冲电压作用下与碳化硅晶片的表面发生等离子体活化改性反应生成软化层，再通过晶片表面抛光装置打磨去除碳化硅晶片表面上的软化层。本发明采用抛光机械臂、晶片表面等离子软化处理装置、晶片表面抛光装置相结合的自动化精密抛光工艺，相比现有主要依靠人工操作，缺乏专用的抛光设备的工艺方案具有抛光效率高、抛光效果更佳的特点。
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公开(公告)号：CN118268940A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410364626.4
申请日：2024-03-28
Applicant: 浙江工业大学
IPC: B24B1/00 , C09G1/02 , B24B31/00 , B24B31/116
Abstract: 本发明公开了适用金刚石工件的光化学反应与剪切增稠复合抛光方法，通过使用特定的剪切增稠抛光液对金刚石工件进行加工，抛光时使用紫外光持续照射抛光液，抛光液中的光触媒微粉吸收紫外光的能量，光生空穴形成羟基自由基，一方面，羟基自由基和纳米二氧化硅表面的Si悬挂键结合形成‑Si‑OH基团，另一方面，剪切增稠抛光液里的羟基自由基与工件粗糙表面接触，在其表面形成大量‑OH官能团；抛光时，工件表面与剪切增稠抛光液相互摩擦使剪切增稠抛光液局部温度升高，促使发生缩合反应形成C‑O‑Si化学键合，然后在强剪切力的作用下，金刚石工件表面的C‑C背键被打破，使金刚石工件表面的C‑O‑Si化学键合被去除，达到高效、高质量的抛光的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115847272A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211654897.0
申请日：2022-12-22
Applicant: 浙江工业大学
IPC: B24B31/116 , B24B31/12 , B24B57/02 , B24B41/00 , B24B41/06
Abstract: 本发明属于超精密加工领域，具体涉及一种连续式圆柱滚子力流变抛光装置及方法，包括圆柱滚子进料模块、载物环模块、抛光槽模块及圆柱滚子下料模块，载物环模块包括载物环、摩擦轮、载物环旋转电机和摩擦轮旋转电机，载物环由载物环旋转电机驱动旋转，其外壁均匀环布若干用以装载圆柱滚子的装载槽，摩擦轮设置于载物环内，其由摩擦轮旋转电机驱动旋转，能够通过摩擦带动载物环中的圆柱滚子自转，抛光槽模块包括储有抛光液的抛光槽、设置于抛光槽中的抛光传送带及用以带动抛光传送带运转的传送带电机。本发明具有自动化程度高、效率快、效果好、绿色环保等特点。
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公开(公告)号：CN112497044A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011247135.X
申请日：2020-11-10
Applicant: 浙江工业大学
IPC: B24B31/112 , C09G1/02
Abstract: 一种基于热增稠效应的超精密抛光方法，在具有热增稠效应的流体中添加磨粒，配制成热增稠抛光液；抛光过程中，工件与所述热增稠抛光液发生相对运动，摩擦产生热量。所述热增稠抛光液中的具有热增稠效应的流体受热，不同分子的具有下临界溶解温度的侧链会互相结合形成多分子聚合物，产生热增稠现象，所述热增稠抛光液粘度增加。磨粒被包裹在多分子聚合物中，具有热增稠效应的流体对磨粒的把持能力增加，形成柔性“固着磨具”，通过相对运动使磨粒对工件表面产生机械去除作用，实现抛光加工。本发明的热流变效应的抛光液能在不同曲率的复杂曲面上形成柔性“固着磨具”，实现复杂曲面超精密加工，具有极大的经济社会效应。
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公开(公告)号：CN119238382A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411641747.5
申请日：2024-11-18
Applicant: 浙江工业大学
IPC: B24C5/04
Abstract: 本发明公开了具有流体自激振荡和介电泳复合效应的磨料液体射流喷头，包括流体自激振荡效应产生模块以及与其同轴相连的介电泳效应产生模块；当液体射流经过流体自激振荡产生模块中的流体自激振荡腔室时，由于流体自激振荡腔室进出口结构的特殊设计，使进入的流体产生流体自激振荡效应，由传统的连续射流变为峰值速度更高的脉冲射流，提高加工效率；此外，当液体射流经过介电泳效应产生模块中的非均匀电场时，液体射流会发生介电泳效应，液体射流中的磨料受到介电泳力的作用，从液体射流分布较多的中间区域向液体射流外周边区域移动，从而使磨料在液体射流中分布更均匀，能提高磨料液体射流加工后工件表面均匀一致性，提高加工的精度。
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公开(公告)号：CN119141442A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411330846.1
申请日：2024-09-24
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了具有粘弹性流体‑抛光液介电泳复合效应的抛光头，在柔性抛光布的内侧设有绝缘层，所述绝缘层与增幅台之间填充有粘弹性流体；所述绝缘层中设有配套使用后能够产生非均匀电场的正电极和负电极。该抛光头在工作时产生了非均匀电场，使抛光液产生介电泳效应，有效减缓抛光液中的磨粒受抛光盘离心力作用流出加工区域，增加磨粒数量以及其在加工区域内驻留时间，提高抛光效率和抛光液分布均匀性，且粘弹性流体的柔性形变使加工区域载荷分散均匀，从而提高了加工后工件表面均匀性，解决了曲面抛光中工具面型贴合能力低、表面均匀性差的问题，同时，粘弹性流体会响应振动频率增加粘度转化为弹性固体，提供抛光时所需压力，保障材料高效去除。
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公开(公告)号：CN110757257B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201911085505.1
申请日：2019-11-08
Abstract: 一种面向复杂曲面加工的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，包括工作电极模块、对电极模块、参比电极模块、电化学工作站、力流变抛光机、抛光液池和力流变抛光液，工作电极模块固定安装在力流变抛光机上，抛光工件作为工作电极与抛光液池内的力流变抛光液接触，与电化学工作站连接；对电极模块固定安装在力流变抛光机上，对电极与力流变抛光液接触，与电化学工作站相连；参比电极模块固定安装在力流变抛光机上，参比电极与力流变抛光液接触，与电化学工作站相连。本发明通过优化电化学反应和力流变机械力的协同作用，实现复杂曲面高表面完整性加工。同时，力流变抛光液是水基溶液，比热容大，可以有效抑制热的影响。
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