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公开(公告)号：CN117970567A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311859495.9
申请日：2023-12-30
Applicant: 浙江大学嘉兴研究院
Abstract: 本发明首次公开了一种应用于2.5维异质集成光波导的制备方法，对新型“2.5维”异质集成进行详细的定义，并为2.5维异质集成技术提供一种新型的制备方法。本发明的制备方法中巧妙地利用氧化铝薄膜作为刻蚀保护层，可以避免繁琐的抛光、对准、粘合和键合等工艺。相比于3维异质集成，本发明所提出的2.5维异质集成在设计上更简便、精度更高、制备步骤更简单且易于制造。本发明可以为异质集成技术提供一种新型的2.5维异质集成的制作方法及基础的技术支持。
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公开(公告)号：CN117930432A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311859464.3
申请日：2023-12-30
Applicant: 浙江大学嘉兴研究院
Abstract: 本发明公开了一种应用于2.5维异质集成光波导的绝热楔形耦合器，即异质集成的绝热楔形耦合器，其结构由二氧化硅衬底、硅波导、二氧化钛波导构成，所述的硅波导和二氧化钛波导采用特殊的楔形间接地拼接，以实现光在异质波导中的绝热耦合。这种新型的“2.5维”异质集成的方法是指光波导器件处于同一平面，在平面上进行异质结构的功能拓展。本发明不仅性能优异，在设计上更简单且耦合条件更自由，易于制造，可以为硅基异质集成技术提供一些新型的2.5维集成的光学耦合的方案及基础技术支持，为具有优于分立光学元件的性能的2.5维全新类型的器件开辟了新的机会。
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公开(公告)号：CN117908189A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311859460.5
申请日：2023-12-30
Applicant: 浙江大学嘉兴研究院
Abstract: 本发明公开了一种应用于2.5维异质集成光波导的高效非对称定向耦合器，即氮化硅与硅异质集成的非对称定向耦合器，其结构由二氧化硅衬底、氮化硅波导、硅波导构成，其中硅波导中一部分采用亚波长光栅槽波导，以实现光在两组异质波导之间的绝热耦合。这种新型的“2.5维”异质集成的方法是指光波导器件处于同一平面，在平面上进行异质结构的功能拓展。本发明不仅性能优异，在设计上更简单且耦合条件更自由，易于制造，可以为硅基异质集成技术提供一些新型的2.5维集成的光学耦合的方案及基础技术支持。
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