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公开(公告)号：CN113960893A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111261547.3
申请日：2021-10-28
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光在玻璃材料中直写“类光子晶格波导”方法。用飞秒激光在玻璃材料中直写出多条轨迹形成波导，轨迹为径向尺寸为亚微米或微米量级的轨迹，多条轨迹形成“类光子晶格波导”，轨迹贯穿于玻璃材料而两端延伸到玻璃材料两侧端面；若干轨迹组成一条波导，通过调整波导中各个轨迹的排布、路径、数量以及波导端面的轨迹排布图形，进而调整工作模式和功能。本发明方法达到控制波导折射率分布，波导具有折射率分布均匀可控、插入损耗低的特点，能够在1.0微米或亚微米分辨率设计轨迹排列，实现对模场的振幅、偏振和相位的分布的控制。
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公开(公告)号：CN115832853A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211558936.7
申请日：2022-12-06
IPC: H01S3/1115 , G02F1/361
Abstract: 本发明公开了一种玻璃材料中基于趋肤光波导的可饱和吸收器件及其方法。通过飞秒激光在玻璃材料内直写光波导，所述光波导中部的一段向玻璃的一侧表面弯曲靠近布置形成趋肤波导，在趋肤波导所靠近玻璃的一侧表面上设有可饱和吸收材料，通过趋肤波导所泄露光信号的倏逝场与可饱和吸收材料相互作用构成可饱和吸收器。本发明制作的可饱和吸收器件具有插入损耗低，占用空间小的特点，能够将多条不同深度或长度的趋肤波导集成在一块玻璃中，实现对可饱和吸收特性的调控，性能优异。
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公开(公告)号：CN113960893B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202111261547.3
申请日：2021-10-28
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光在玻璃材料中直写“类光子晶格波导”方法。用飞秒激光在玻璃材料中直写出多条轨迹形成波导，轨迹为径向尺寸为亚微米或微米量级的轨迹，多条轨迹形成类光子晶格波导”，轨迹贯穿于玻璃材料而两端延伸到玻璃材料两侧端面；若干轨迹组成一条波导，通过调整波导中各个轨迹的排布、路径、数量以及波导端面的轨迹排布图形，进而调整工作模式和功能。本发明方法达到控制波导折射率分布，波导具有折射率分布均匀可控、插入损耗低的特点，能够在1.0微米或亚微米分辨率设计轨迹排列，实现对模场的振幅、偏振和相位的分布的控制。
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公开(公告)号：CN115815793A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211398957.7
申请日：2022-11-09
IPC: B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/073 , B23K26/382 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种光学各向异性晶体纳米孔的湿法辅助‑飞秒激光加工方法。在目标加工物的光学各向异性晶体上通过光学接触放置更厚的光学各向同性晶体作为球差增强辅助物，飞秒激光透射经过球差增强辅助物后入射并聚焦到目标加工物内产生自聚焦拉丝效应，而诱导材料局域改性成纳米拉丝诱导区域；再用特定酸性溶液湿法刻蚀，纳米拉丝诱导区域被刻蚀形成孔径可控、高深‑径比的纳米孔。本发明可对任意光学各向异性晶体内部三维空间进行诱导加工，还可调节制备高深‑径比的纳米孔结构，克服了传统方法只能在材料表面加工低深‑径比的纳米孔结构缺点，制备更小尺寸、均一、可控的纳米孔结构，具有高效、稳定、低廉的三维空间可控的纳米加工特点。
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公开(公告)号：CN115747969A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211399789.3
申请日：2022-11-09
Abstract: 本发明公开了一种光学各向同性晶体的湿法辅助‑飞秒激光加工纳米孔方法。在目标加工物的光学各向同性晶体上通过光学接触放置一块更厚光学各向同性晶体作为球差增强辅助物，飞秒激光透射经过球差增强辅助物后入射并聚焦到目标加工物内产生自聚焦拉丝效应，而诱导材料局域改性成纳米拉丝诱导区域；再用特定酸性溶液湿法刻蚀，使纳米拉丝诱导区域被刻蚀形成孔径可控、高深‑径比的纳米孔。本发明可对任意光学各向同性晶体内部三维空间进行诱导加工，还可调节制备高深‑径比的纳米孔结构，克服了传统方法只能在材料表面加工低深‑径比的纳米孔结构缺点，制备更小尺寸、均一、可控的纳米孔结构，具有高效、稳定、低廉的三维空间可控的纳米加工特点。
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