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    一种混合波导集成二维材料中红外光电探测器
    1.
    发明公开
    一种混合波导集成二维材料中红外光电探测器 审中-实审

    公开(公告)号：CN115224134A

    公开(公告)日：2022-10-21

    申请号：CN202210792791.0

    申请日：2022-07-05

    申请人： 浙江大学

    发明人： 林宏焘 ,  马辉 ,  钟础宇 ,  魏茂良 ,  巨泽朝

    IPC分类号： H01L31/0232 ,  H01L31/0336 ,  H01L31/109 ,  G02B6/10

    摘要： 本发明公开了一种混合波导集成二维材料中红外光电探测器。包括蓝宝石衬底；硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上；二维材料层位于硅波导传输层的中部上；硫系条形波导形成在二维材料层的中间上；两个电极形成在二维材料层的两侧上；硫系盖层形成在硅波导传输层上，且包覆二维材料层、硫系条形波导和电极。本发明是中红外低损的蓝宝石‑硅‑硫系材料混合波导结构，二维材料通过范德华力易于集成且室温下工作优势，通过极大的增强光与物质相互作用。

    一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器
    3.
    发明公开
    一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器 审中-实审

    公开(公告)号：CN115598869A

    公开(公告)日：2023-01-13

    申请号：CN202210792816.7

    申请日：2022-07-05

    申请人： 浙江大学(CN)

    发明人： 林宏焘 ,  钟础宇 ,  魏茂良 ,  马辉 ,  巨泽朝

    IPC分类号： G02F1/01 ,  G02F1/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122

    摘要： 本发明公开了一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器。包括蓝宝石衬底；硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上；第一石墨烯层位于硅波导传输层的一侧上；第一石墨烯层控制电极布置连接在第一石墨烯层之上；硫系介质层形成在硅波导传输层上，包覆第一石墨烯层；第二石墨烯层位于硫系介质层的一侧上；第二石墨烯层控制电极布置在第二石墨烯层上；包括硫系条形波导形成在第二石墨烯层上；硫系盖层形成在硫系介质层上，包覆第二石墨烯层和硫系条形波导。本发明支持3‑5μm波段的信号光进行低损传输和调制，本发明使用硅平板层与硫系条形波导构成混合脊型波导结构，石墨烯层可集成在TE0模式的场强极大值处，降低了光功耗。

    一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器
    4.
    发明公开
    一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器 审中-实审

    公开(公告)号：CN115509031A

    公开(公告)日：2022-12-23

    申请号：CN202210791866.3

    申请日：2022-07-05

    申请人： 浙江大学

    发明人： 林宏焘 ,  钟础宇 ,  魏茂良 ,  马辉 ,  巨泽朝

    IPC分类号： G02F1/00 ,  G02F1/01 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122

    摘要： 本发明公开了一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器。包括蓝宝石衬底，硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上；石墨烯层或者硫系条形波导位于硅波导传输层上，石墨烯层位于硫系条形波导上表面或者下表面；硫系条形波导形成在石墨烯层上；硫系材料层形成在蓝宝石衬底或者硅波导传输层上，用于包覆硅波导传输层、石墨烯层、硫系条形波导。本发明基于中红外低损的蓝宝石‑硅‑硫系材料混合波导结构，灵活集成石墨烯，极大增强光与物质相互作用，同时利用石墨烯的超快速可饱和吸收效应。