基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法及系统

    公开(公告)号:CN104964982B

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201510382731.1

    申请日:2015-06-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法及系统。在OCT系统中,使用线聚焦光照明和并行探测,利用OCT成像获得的复解析信号,分析玻璃界面处沿深度方向的复解析信号与标准单一反射界面所产生的复解析信号的差异大小来划定玻璃表面缺陷核心的边界,利用OCT成像获得的玻璃表面的复解析反射信号的相位重构高精度的玻璃表面形貌图,通过比对玻璃表面缺陷核心边界图与玻璃表面形貌图,实现真缺陷和伪缺陷的识别。本发明可以实现高分辨率、高准确率的真伪缺陷识别,可以在有尘生产环境中实时检测玻璃缺陷而不会因灰尘的干扰造成误判。

    基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法及系统

    公开(公告)号:CN104964982A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201510382731.1

    申请日:2015-06-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法及系统。在OCT系统中,使用线聚焦光照明和并行探测,利用OCT成像获得的复解析信号,分析玻璃界面处沿深度方向的复解析信号与标准单一反射界面所产生的复解析信号的差异大小来划定玻璃表面缺陷核心的边界,利用OCT成像获得的玻璃表面的复解析反射信号的相位重构高精度的玻璃表面形貌图,通过比对玻璃表面缺陷核心边界图与玻璃表面形貌图,实现真缺陷和伪缺陷的识别。本发明可以实现高分辨率、高准确率的真伪缺陷识别,可以在有尘生产环境中实时检测玻璃缺陷而不会因灰尘的干扰造成误判。

    一种基于光程编码的高分辨长焦深OCT成像系统和方法

    公开(公告)号:CN106691394B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201710086522.1

    申请日:2017-02-17

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于光程编码的高分辨长焦深OCT成像系统和方法。本发明首先利用光程编码器把光源输出光束编码成多个光程不同的光束,这些光束被光学系统聚焦在样品的不同深度用于OCT成像;然后提取OCT图像中被每个光束焦深范围内的光照射所得的样品图像并拼接,即可得到大深度范围内高分辨率的样品图像。由于光程编码会损失部分成像量程,因此在探测臂上使用具有超高光谱分辨率的正交色散光谱仪进行探测,光谱仪所得干涉光谱信号最终传入计算机,在计算机上实现样品高分辨长焦深图像的快速重建。本发明利用正交色散光谱仪超长的测量量程区分不同编码光程下、聚焦在不同深度的光束所得到的样品信息,可以大幅提高焦深。

    用于运动伪影校正的空间光谱编码并行OCT系统和方法

    公开(公告)号:CN106895917B

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201710077740.9

    申请日:2017-02-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于运动伪影校正的空间光谱编码并行OCT系统和方法。本发明在宽带光源和并行OCT系统之间加入了空间光谱编码模块,该模块沿光束扫描方向对宽带光源出射的宽带光谱进行空间光谱编码;本发明利用相邻两步扫描过程中,两个矩形照明区域的重叠区域所对应的数据进行基于互相关算法的运动伪影校正,来计算和补偿相邻次扫描过程中样品的随机运动量。利用相邻多步扫描过程所获得的多幅干涉光谱中对同一位置的不同编码光谱,拼接出该位置的完整光谱,完成空间光谱解码,从而恢复并行OCT系统的理论横向分辨率和轴向分辨率。本发明能够在保证原有并行OCT系统分辨率的同时,提供高精度、高准确度的样品随机运动量校正。

    基于移动光栅空间载频谱域OCT全量程成像方法

    公开(公告)号:CN103267732B

    公开(公告)日:2016-12-28

    申请号:CN201310189388.X

    申请日:2013-05-21

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于移动光栅空间载频的谱域OCT全量程成像方法。采用移动光栅取代传统谱域OCT中的参考反射镜,在横向扫描方向引入无需光程调制的空间载频。将探测得到的干涉光谱信号先进行沿横向扫描方向的傅里叶变换,然后实施以空间载频量为中心的带通滤波,接着对滤波信号进行逆傅里叶变换,最后再对信号沿轴向作傅里叶变换,就能获得样品消镜像后的全量程OCT图像。本发明能够在不引入任何附加光程差的前提下,获得全量程谱域OCT成像,避免了传统空间载频方法中累积光程差导致的灵敏度下降。

    基于正交色散谱域干涉仪的高精度间距测量系统和方法

    公开(公告)号:CN104655032B

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201510063182.1

    申请日:2015-02-06

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于全量程正交色散谱域干涉仪的高精度间距测量系统和方法。本发明基于谱域干涉仪布局,通过参考臂中设置的快速位移装置在多幅干涉光谱之间引入位相差,并利用实际检定的相位差来重建复干涉信号,基于复干涉信号的逆傅里叶变换获取高保真样品信息。在探测臂上使用基于虚像相控阵列和光栅的超高光谱分辨率的正交分光光谱仪进行探测,大幅提高测量量程。采用优化多通道光谱位相的光程测量方法,显著提高测量精度,并避免单通道测量可能导致的误差放大,实现快速高精度大量程的间距测量。

    基于环腔扫频的双焦点全眼OCT实时成像系统和方法

    公开(公告)号:CN103263248B

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310173078.9

    申请日:2013-05-09

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于环腔扫频的双焦点全眼OCT实时成像系统和方法。该系统基于环腔扫频OCT系统,通过调节输入样品臂的低相干光偏振态,并在样品臂的环腔中设置半波片,从而实现两种线偏振态光在奇偶次光循环过程中的偏振态切换;并在样品臂中设置偏振分光器,构建P通道光和S通道光的两种初始零光程参考面以及不同的光聚焦位置;最终利用不同载频量来区分不同环腔级次的P通道光和S通道光,从而只采用单一高带宽平衡光电探测器就能实现全眼的OCT图像的无混淆高精度拼接。由于本系统是通过光循环的方法产生多个零光程参考面,因而能够实现全眼的实时成像,另外由于采用双焦点的样品臂设计,因而可以实现全眼范围内的高灵敏度成像。

    基于光谱编码与正交分光的并行OCT探测方法及系统

    公开(公告)号:CN103271721A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310187354.7

    申请日:2013-05-17

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于光谱编码与正交分光的并行OCT探测方法及系统。本发明能够在样品的不同横向探测位置形成一系列频率互不交叠的光学频率梳,进而实现对样品横向位置的光谱编码和并行照明。由两级空间正交分光光谱仪构成该并行OCT探测系统的探测臂,该探测臂由虚像相控阵列和光栅组成,并以高速面阵CCD作为探测器,实施干涉光谱信号的并行探测。光谱信息最终传入计算机,在计算机上实现对样品的横向位置信息和轴向深度信息的快速重构。本发明能够在满足高光谱分辨率的前提下,以全光纤系统代替空间光学系统,并且能够避免以往并行探测中存在的相干串扰问题,从而实现高信噪比、高横向分辨率和高轴向分辨率的并行谱域OCT成像。

    基于移动光栅空间载频谱域OCT全量程成像方法及系统

    公开(公告)号:CN103267732A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310189388.X

    申请日:2013-05-21

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于移动光栅空间载频的谱域OCT全量程成像方法和系统。采用移动光栅取代传统谱域OCT中的参考反射镜,在横向扫描方向引入无需光程调制的空间载频。将探测得到的干涉光谱信号先进行沿横向扫描方向的傅里叶变换,然后实施以空间载频量为中心的带通滤波,接着对滤波信号进行逆傅里叶变换,最后再对信号沿轴向作傅里叶变换,就能获得样品消镜像后的全量程OCT图像。本发明能够在不引入任何附加光程差的前提下,获得全量程谱域OCT成像,避免了传统空间载频方法中累积光程差导致的灵敏度下降。

    一种位相增强型薄膜厚度测量方法和系统

    公开(公告)号:CN104655029B

    公开(公告)日:2017-07-25

    申请号:CN201510063388.4

    申请日:2015-02-06

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种位相增强型薄膜厚度测量方法和系统。该系统采用宽带扫频光源,其测量光路和参考光路中分别设置有测量子循环腔和参考子循环腔,利用测量光和参考光在两个子循环腔中的高速(光速)光循环,能够对待测薄膜样品同一横向位置处的薄膜位相进行累积放大测量(放大倍数等于测量光和参考光的光循环级次),从而增强薄膜位相探测的灵敏度。并且,由于该系统在对薄膜位相进行累积放大测量的过程中,测量光束始终照射于待测薄膜样品的同一横向位置,因而不同于利用测量光束在待测薄膜样品中多次反射进而求取薄膜反射率的光谱方法,该薄膜位相增强方法不会牺牲系统对待测薄膜样品的横向分辨能力。

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