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公开(公告)号：CN101806961A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010108642.5
申请日：2010-02-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法，包括如下步骤：在下基板上依次形成下介质高反膜层和中空的下薄膜电极层；下介质高反膜层和下薄膜电极层中至少一层的上表面经过表面能改性，使下薄膜电极层的表面能高于下介质高反膜层的表面能；再将压电聚合物选择性地沉积在薄膜电极层上，形成聚合物薄膜层；在聚合物薄膜层上蒸镀形成上薄膜电极层；在上薄膜电极层上依次覆盖上介质高反膜层和上基板。本发明利用压电聚合物这种特性，可制备中空透射型法布里-珀罗腔(F-P)滤波器，制备聚合物薄膜层的同时，就形成所需要的内腔图形，方法工艺简单易行，不损伤聚合物薄膜层，能较好地保证聚合物薄膜层的压电特性。
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