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发明公开
平行同步影像处理系统有权转让

公开(公告)号：CN102906723A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201180024597.8

申请日：2011-05-18

申请人： 派因布鲁克成像系统公司

发明人： B·基恩 , T·莱迪格

IPC分类号： G06F15/00

CPC分类号： G06T1/20 , G03F7/70425 , G06T11/40

摘要： 本发明揭露一种在微影制程中将光罩数据图案透过平行同步影像处理机制施加于基板之系统及方法。在一实施例中，该平行同步影像处理系统包括：一图形引擎，其可将一对象划分为多个梯形，并取各梯形之一边，列出一代表该多个梯形之边表；以及一分配器，其可自该图形引擎接收该边表，并将该边表分配至多个扫描线影像处理单元。该系统进一步包括：一同步调度哨符机制，其可监控处理该多个扫描线影像处理单元之多元同步化运作；以及多个缓冲储存器，其可储存来自对应扫描线影像处理单元之影像数据，并根据该同步调度哨符机制输出已储存之影像数据。