公开(公告)号：CN105556618B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201480049430.0

申请日：2014-08-06

Applicant: 洛克技研工业株式会社

Inventor： 河添昭造

IPC: H01B5/14 ,  B32B5/30 ,  B32B9/00 ,  C23C14/08 ,  G06F3/041 ,  H01B13/00 ,  H01L31/0224 ,  H05K9/00

CPC classification number: H05K9/0094 ,  B32B2307/202 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/554 ,  B32B2307/584 ,  B32B2457/00 ,  B32B2457/208 ,  C23C14/08 ,  G06F3/044 ,  G06F3/045 ,  G06F2203/04103 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供一种透明导电性基材，其在基材(11)的单面或双面依次叠层有透明导电性薄膜层(12)和透明金属氧化物层(13)，通过散布颗粒(13a)来形成透明金属氧化物层(13)，ITO等透明导电性薄膜层与金属和金属膏等的电极间的导电性高，而且透明性、折射率匹配性、耐擦伤性、蚀刻性也良好。

公开(公告)号：CN110648783A

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201811344911.0

申请日：2018-11-13

Applicant: 洛克技研工业株式会社

Inventor： 河添昭造

IPC: H01B5/14

Abstract: 提供一种ITO薄膜以及透明导电性薄膜，ITO薄膜在不进行退火处理的状态下提高非晶ITO膜的稳定性，电阻值随时间没有变化、提高防潮性和阻气性，并克服由弯曲引起的裂纹；透明导电性薄膜具有优异的导电性、透明性以及耐久性。本发明的ITO薄膜在具有挠性的基材的表面，形成有未进行退火处理的状态的非晶ITO膜，其特征在于，非晶ITO膜的膜厚在30nm～320nm的范围内，非晶ITO膜的表面电阻在9～105(Ω/□)的范围内。

公开(公告)号：CN105556618A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480049430.0

申请日：2014-08-06

Applicant: 洛克技研工业株式会社

Inventor： 河添昭造

IPC: H01B5/14 ,  B32B5/30 ,  B32B9/00 ,  C23C14/08 ,  G06F3/041 ,  H01B13/00 ,  H01L31/0224 ,  H05K9/00

CPC classification number: H05K9/0094 ,  B32B2307/202 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/554 ,  B32B2307/584 ,  B32B2457/00 ,  B32B2457/208 ,  C23C14/08 ,  G06F3/044 ,  G06F3/045 ,  G06F2203/04103 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供一种透明导电性基材，其在基材(11)的单面或双面依次叠层有透明导电性薄膜层(12)和透明金属氧化物层(13)，通过散布颗粒(13a)来形成透明金属氧化物层(13)，ITO等透明导电性薄膜层与金属和金属膏等的电极间的导电性高，而且透明性、折射率匹配性、耐擦伤性、蚀刻性也良好。

公开(公告)号：CN116189964A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202211677083.9

申请日：2018-11-13

Applicant: 洛克技研工业株式会社

Inventor： 河添昭造

IPC: H01B5/14

Abstract: 提供一种ITO薄膜以及透明导电性薄膜，ITO薄膜在不进行退火处理的状态下提高非晶ITO膜的稳定性，电阻值随时间没有变化、提高防潮性和阻气性，并克服由弯曲引起的裂纹；透明导电性薄膜具有优异的导电性、透明性以及耐久性。本发明的ITO薄膜在具有挠性的基材的表面，形成有未进行退火处理的状态的非晶ITO膜，其特征在于，非晶ITO膜的膜厚在30nm～320nm的范围内，非晶ITO膜的表面电阻在9～105(Ω/□)的范围内。

公开(公告)号：CN114686805A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202111098599.3

申请日：2021-09-18

Applicant: 洛克技研工业株式会社

Inventor： 河添昭造

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/20 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供一种树脂片材表面处理方法，能够使树脂片材的粘接面的表面不变粗糙地在粘接面上生成官能团，能够提高成膜工序中的薄膜对粘接面的密合力。本发明的树脂片材表面处理方法在使薄膜粘接于树脂片材(3)的表面的成膜工序之前，对于待粘接薄膜的树脂片材(3)的粘接面进行表面处理工序，向配置有电极(2)的真空室(1)内导入不活泼气体(10)，将树脂片材(3)设为接地电位，通过周期性赋予负电位的高频电源(6)对电极(2)施加负电位。