公开(公告)号：CN118758210B

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202410956705.4

申请日：2024-07-17

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  邵倚濛 ,  宋金龙

IPC: G01B11/24

Abstract: 本申请公开了一种基于多表面形貌测量的最小二乘迭代模型抗振方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，通过获取混叠干涉图组，利用快速傅里叶变换分离混叠干涉图组中每个像素所包含的信号，并进行解析得到不同表面的初始相位；根据初始相位和初始移相量计算变化补偿因子；根据最小二乘法拟合方法和变化补偿因子计算干涉条纹强度公式中的未知参数；根据最小二乘法拟合方法和未知参数计算移相量；根据移相量判断是否达到迭代精度，若达到迭代精度，则输出相位值；若未达到迭代精度，则继续进行迭代。本申请解决了现有技术利用波长移相技术测量透明元件多表面形貌时检测精度低和干涉图像质量差的问题，提高了透明元件多表面形貌的测量精度。

公开(公告)号：CN118758210A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202410956705.4

申请日：2024-07-17

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  邵倚濛 ,  宋金龙

IPC: G01B11/24

Abstract: 本申请公开了一种基于多表面形貌测量的最小二乘迭代模型抗振方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，通过获取混叠干涉图组，利用快速傅里叶变换分离混叠干涉图组中每个像素所包含的信号，并进行解析得到不同表面的初始相位；根据初始相位和初始移相量计算变化补偿因子；根据最小二乘法拟合方法和变化补偿因子计算干涉条纹强度公式中的未知参数；根据最小二乘法拟合方法和未知参数计算移相量；根据移相量判断是否达到迭代精度，若达到迭代精度，则输出相位值；若未达到迭代精度，则继续进行迭代。本申请解决了现有技术利用波长移相技术测量透明元件多表面形貌时检测精度低和干涉图像质量差的问题，提高了透明元件多表面形貌的测量精度。