一种微细电铸层填充程度在线监测装置及监测方法

    公开(公告)号:CN102409389A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201110374704.1

    申请日:2011-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种微细电铸层填充程度在线监测装置,包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒,检测滚筒连接监测电源的正极,电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极,通过检测滚筒所处位置的电流大小,在线判断阴极芯模相应位置处电铸层的填充程度,不需中止电铸过程就可以实时检测微细电铸的填充程度,提高了电铸效率与电铸质量,操作简便,经济实用,可以广泛应用于基于平面阴极芯模的微细电铸场合。

    一种微细电铸层填充程度在线监测装置及监测方法

    公开(公告)号:CN102409389B

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201110374704.1

    申请日:2011-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种微细电铸层填充程度在线监测装置,包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒,检测滚筒连接监测电源的正极,电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极,通过检测滚筒所处位置的电流大小,在线判断阴极芯模相应位置处电铸层的填充程度,不需中止电铸过程就可以实时检测微细电铸的填充程度,提高了电铸效率与电铸质量,操作简便,经济实用,可以广泛应用于基于平面阴极芯模的微细电铸场合。

    一种微细电铸层填充程度在线监测装置

    公开(公告)号:CN202369669U

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN201120468419.1

    申请日:2011-11-23

    Abstract: 本实用新型公开了一种微细电铸层填充程度在线监测装置,包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒,检测滚筒连接监测电源的正极,电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极,通过检测滚筒所处位置的电流大小,在线判断阴极芯模相应位置处电铸层的填充程度,不需中止电铸过程就可以实时检测微细电铸的填充程度,提高了电铸效率与电铸质量,操作简便,经济实用,可以广泛应用于基于平面阴极芯模的微细电铸场合。

Patent Agency Ranking