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公开(公告)号：CN118996589A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410942614.5
申请日：2024-07-15
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明提供一种线阳极旋转扫描电沉积加工金刚石滚轮的装置与方法，属于金刚石滚轮电镀技术领域。在加工金刚石滚轮过程中最重要的步骤之一是生成金刚石滚轮电镀层，本发明在加工金刚石滚轮电镀层时使用线阳极旋转扫描电沉积技术。步骤如下：取阴模作为电镀阴极，连接电源负极，可旋转阳极结构与电源正极相连，阳极型腔内冲入高压电镀液，之后旋转阳极结构进行电镀，获得带有电镀层的阴模。线阳极旋转扫描电沉积技术是线阳极以一定的扫描速度循环加工、间段沉积电镀层的过程，使电镀镍层的晶粒可达到纳米尺度，镍镀层更加致密，镀层与基体之间的把持力较强。同时线阳极可以提供较高的电流密度，加工效率得到较大的提高。
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公开(公告)号：CN116463690A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310542458.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明专利公开了一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，包括搅拌桨、线阳极和粘附有胶膜图案的阴极基底，其特征在于：它还包括直线状激光束整形单元、直线状激光束、反射镜和透光玻璃；所述的透光玻璃固定于搅拌桨的底面；所述的直线状激光束由直线状激光束整形单元输出后经反射镜反射后竖直向下地射向搅拌桨并穿透透光玻璃射向阴极基底；所述的直线状激光束与线阳极平行；所述的直线状激光束与搅拌桨同步运动。本发明的优点是：采用直线状激光束辅助线阳极扫描，将传统的激光点状光斑改成直线状激光束的电铸技术，在掩模微细制件的制造中，电沉积速度大幅提高、电铸件厚度分布均匀性更高、电铸制件质量更好。
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公开(公告)号：CN117587469A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311412656.X
申请日：2023-10-30
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种线阳极扫描电铸制备X射线反射镜系统，包括线阳极固定套筒与位于套筒内部轴向微凹槽位置的电化学惰性线状金属丝。本发明中的线阳极固定套筒的内表面廓形与类圆筒状芯模的外表面廓形相似，其扫描路径为周向扫描，辅以转动时线阳极固定套筒内表面的螺旋凹槽，增强了溶液的传质效果，以此实现电场‑流场分布的协同均衡化，减少电流边缘效应对电铸过程的负面影响，从而提高X射线反射镜的铸层均匀性。其次通过将电流集中在线状阳极表面以获得超高过电位，促进晶核的形成，通过周向扫描减少同一区域接受电流的时间，抑制晶粒生长，实现细化晶粒，获得超高强度、高延展性等诸多优异的力学性能，能够增强反射镜的硬度、耐磨性和使用寿命，增强机械的可靠性。本发明中的装置结构简单，所需构件的制备以及安装易于实现，可简单高效地电铸出具备高铸层均匀性，综合性能优异的X射线反射镜。
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公开(公告)号：CN116043281A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211478648.0
申请日：2022-11-24
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明公开了一种多功能电铸夹具，它包括挂杆、装夹臂、圆形引电座、导杆、卡块、锁紧螺母和转动驱动单元；所述的圆形引电座可转动地安设于挂杆的下端；所述的转动驱动单元与圆形引电座同转轴地安设于挂杆的下端且位于圆形引电座的异侧；所述的4根装夹臂可转动可拆卸地安设于圆形引电座上；所述的4根导杆可转动地安设于装夹臂上；所述的4个卡块分别与4根导杆一一配对地进行过渡间隙联接；所述的4个锁紧螺母分别与4个卡块一一配对地进行螺纹副联接。采用本发明进行电铸时，可以针对不同尺寸不同形状的阴极基底进行夹紧，操作简便快捷。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN219850586U
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202321341346.9
申请日：2023-05-30
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于分拣薄片型微小电铸金属喷嘴的装置，包括设有圆围的底盘架、中心轴、拨杆、压平杆和分拣盘；拨杆与压平杆相互垂直地且呈中心对称地安设在中心轴上；中心轴固定于底盘架的圆心处；底盘架设有4个定位凹腔；分拣盘分别一一配合地且可拆卸地固定于所述的定位凹腔内；分拣盘设有围绕底盘架的圆心以同心圆的方式等圆心角地排布的阵列阶梯形通孔；拨杆的底面设有阵列半开凹槽。采用本实用新型进行分拣薄片型微小电铸金属喷嘴时，可实现初测与分拣一体化，操作便捷，效率高，结构简单，易于维护，能低成本地实现大量薄片型微小电铸金属喷嘴的检测与分拣。
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公开(公告)号：CN219424807U
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202223119192.7
申请日：2022-11-24
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种直径可调式的匀胶机夹盘，包括圆形的承片盘主体和匀胶机旋转轴，其特征在于：它还包括3根可拆卸地安装在承片盘主体外圆面上的拓长臂；所述的拓长臂上设有可沿承片盘主体径向方向滑动的支撑座；所述的支撑座设有定位面和挡沿；所述的支撑座的定位面处于同一水平面上且与承片盘主体的承片面共面。采用本实用新型进行光刻胶旋涂时，可以针对不同尺寸的基片进行旋涂，且旋涂时无需对承片盘进行更换，操作简便快捷。采用拓长臂设计，减少需要制作的承片盘数量，降低工艺成本。与常规承片盘所使用的盘型结构外沿固定相比，更有利于多余光刻胶的甩出，且承片盘质量轻，转动惯量较低，无需大功率驱动，装备成本几乎无需增加。
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公开(公告)号：CN221371315U
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202323496924.9
申请日：2023-12-21
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/08
Abstract: 本实用新型公开了一种电铸增厚圆筒网装置，该装置包括设有出液孔的电铸槽、转动辊、设有阵列网孔的圆筒网和张紧辊，设有阵列直喷孔的垂直喷液管和设有阵列侧喷孔的侧喷液管；阵列侧喷孔的出液方向与圆筒网的网面垂直；阵列直喷孔和阵列侧喷孔的流速均可独立控制；侧喷液管对称地安设在圆筒网的两侧，阵列侧喷孔每5～10分钟外喷一次电铸液，每次持续时间20～30s。本装置通过对称布置的阵列侧喷孔的周期性喷液行为，一方面在维持电铸过程高增厚比的基础上，可减少电铸过程中气泡在网孔内的附着，减少针孔缺陷，另一方面，可大幅改善电铸网孔几何尺寸分布的均匀性。此外，本发明的低喷进液方式能有效减缓电铸槽内传质不均现象，提高电铸网的厚度分布均匀性。
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公开(公告)号：CN219695623U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202321156257.7
申请日：2023-05-15
Applicant: 河南理工大学
IPC: G03F7/30
Abstract: 本实用新型公开了一种显影装置，该装置以立柱、储液槽和驱动电机为基础，以行星齿轮系为核心，包括太阳轮、行星轮、行星固定架，共同实现光刻工艺中显影这一工艺流程。与传统的手动显影和喷淋方法不同，本实用新型是将曝光后的基片浸没在显影液中，实现指定区域的溶解，利用行星轮带动基片高速旋转，通过离心力的作用实现溶解产物的排出，借助轮系传动实现基片在绕中心轴周转同时自身也在同步自转，减小了同一基片不同部位之间线速度的差异，提高了显影均匀性，同时一次可装夹多个基片，适用不同尺寸基片，以简单高效的方式实现了显影这一重要步骤。采用本装置在保证显影效率的同时，具备较高的显影质量，且所用行星齿轮系质量轻，转动惯量小，无需大功率驱动，成本低。
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