公开(公告)号：CN109738978B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201811597457.X

申请日：2018-12-26

Applicant: 河南机电职业学院

Inventor： 李仁强 ,  侯明 ,  王云飞 ,  孔一君 ,  张文琼 ,  贺子芙 ,  马俊杰 ,  孟祥伟 ,  岳金明

IPC: G02B5/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，包括基体，基体上镀Ti膜，Ti膜上镀Ag膜，Ag膜上镀TiO2膜，TiO2膜上镀SiO2膜，SiO2膜上镀TiO2膜，TiO2膜与SiO2膜交替进行4个循环，在第4个循环结束时，SiO2膜上镀Ag膜，Ag膜上再镀TiO2膜，TiO2膜上镀SiO2膜……再交替进行4个循环，在最后一层SiO2膜上再镀TiO2膜，制备出激光器件用高反射膜层。本发明制备的高反射膜层耐高温、耐气流温度变化产生的应力、耐废气中强酸腐蚀，性能稳定。磁控溅射制备的TiO2/SiO2结合力强，离子能量在100ev左右，膜层的厚度可以根据工艺进行精确控制。

公开(公告)号：CN109738978A

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201811597457.X

申请日：2018-12-26

Applicant: 河南机电职业学院

Inventor： 王云飞 ,  高志廷 ,  张黎燕 ,  孔一君 ,  张文琼 ,  张文斌 ,  马俊杰 ,  孟祥伟 ,  岳金明

IPC: G02B5/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种耐高温、耐废气中强酸腐蚀激光器件用高反射膜层，包括基体，基体上镀Ti膜，Ti膜上镀Ag膜，Ag膜上镀TiO2膜，TiO2膜上镀SiO2膜，SiO2膜上镀TiO2膜，TiO2膜与SiO2膜交替进行4个循环，在第4个循环结束时，SiO2膜上镀Ag膜，Ag膜上再镀TiO2膜，TiO2膜上镀SiO2膜……再交替进行4个循环，在最后一层SiO2膜上再镀TiO2膜，制备出激光器件用高反射膜层。本发明制备的高反射膜层耐高温、耐气流温度变化产生的应力、耐废气中强酸腐蚀，性能稳定。磁控溅射制备的TiO2/SiO2结合力强，离子能量在100ev左右，膜层的厚度可以根据工艺进行精确控制。