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公开(公告)号：CN110711312B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201911082059.9
申请日：2019-11-07
Applicant: 河南大学
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种基于微机电系统的强促渗透皮释药微系统及其制造方法。该系统包括：由下至上键合在一起的第一硅片基体、第二硅片基体和第一SOI硅片；在第一硅片基体上形成有由若干个微针组成的微针阵列，每个微针均包括微针针尖、微针针体和微针空腔；第一硅片基体和第二硅片基体之间形成有一储药腔体，所述储药腔体与微针阵列的各个微针空腔连通；在所述第二硅片基体的顶部开设有一送药孔，所述送药孔与所述储药腔体连通；第二硅片基体与第一SOI硅片之间由下至上包括隔离墙层、振动膜层和支撑墙层；第一SOI硅片、支撑墙层和振动膜层相配合形成微超声传感器；隔离墙层与第二硅片基体的顶部之间形成有与送药孔相连通的空腔。
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公开(公告)号：CN117732192A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311757637.0
申请日：2023-12-20
Applicant: 河南大学
Abstract: 本发明属于工业气体分离，尤其是分离掺氢天然气领域，公开了一种利用重力进行工业级掺氢天然气的分离装置及方法，分离装置包括掺氢天然气管网、掺氢天然气储气罐、氢气管道、天然气管道、氢气储气罐、天然气储气罐、控制系统、氢浓度传感器阵列、压力传感器。本发明利用物理分离的方法，利用氢气密度小，氢气上浮，天然气密度大，天然气下沉的特点，在储气罐中进行掺氢天然气分层，实现了高浓度氢气的提取。并且，本发明装置利用掺氢天然气储气罐容量大和存气时间长的特点，掺氢天然气分离量大，提高了分离掺氢天然气装置的规模和效率。
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公开(公告)号：CN110932594A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911117106.9
申请日：2019-11-15
Applicant: 河南大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本申请涉及一种基于微机电系统的自驱动新型弹性执行机构，包括彼此一一首尾交错连接的若干弧形杆和直杆，若干所述弧形杆和直杆位于同一平面上，任一所述弧形杆首尾连接的一对直杆与所述弧形杆呈Z字型相连，所述弧形杆上固定有施加电压后产生形变的驱动件，所述弧形杆随所述驱动件的形变而形变。本发明提出的基于微机电系统的自驱动新型弹性执行机构，结构巧妙，设计合理，通过弧形杆和直杆作为弹性杆件和扭转铰链完成所需运动，可用于微机械中的执行机构。此种机构在施加更小力的情况下，可以产生更大的位移，在同样驱动位移的情况下，所需的力更小，可应用于微机电系统需要产生较大变形或位移的场合。
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公开(公告)号：CN110812686A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911081493.5
申请日：2019-11-07
Applicant: 河南大学
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种制造微针阵列的微加工工艺和微针。本发明提供的监视孔工艺方法，将盲孔的刻蚀转变成对通孔的控制，只要先在硅片顶部将监视孔的深度刻蚀成硅片厚度与长盲孔的差值，然后在硅片底部刻蚀长盲孔时，当监视孔被从硅片底部方向刻蚀透时，即表示此时的长盲孔的长度已经满足所需的长度，可停止继续进行刻蚀，从而可避免长盲孔的长度误差；本发明提供的复合层掩膜工艺方法，通过将最上层掩膜和最低层掩膜设置成不同的形状，先通过上层掩膜，刻蚀后获得一种结构；然后去除上层掩膜后，通过下层掩膜，刻蚀后可获得较复杂的三维结构。本发明提供的微针的药液出口为侧出口，不存在皮肤组织阻塞药液出口的问题；同时，也可防止药液的泄漏。
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公开(公告)号：CN110711312A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201911082059.9
申请日：2019-11-07
Applicant: 河南大学
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种基于微机电系统的强促渗透皮释药微系统及其制造方法。该系统包括：由下至上键合在一起的第一硅片基体、第二硅片基体和第一SOI硅片；在第一硅片基体上形成有由若干个微针组成的微针阵列，每个微针均包括微针针尖、微针针体和微针空腔；第一硅片基体和第二硅片基体之间形成有一储药腔体，所述储药腔体与微针阵列的各个微针空腔连通；在所述第二硅片基体的顶部开设有一送药孔，所述送药孔与所述储药腔体连通；第二硅片基体与第一SOI硅片之间由下至上包括隔离墙层、振动膜层和支撑墙层；第一SOI硅片、支撑墙层和振动膜层相配合形成微超声传感器；隔离墙层与第二硅片基体的顶部之间形成有与送药孔相连通的空腔。
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公开(公告)号：CN117547726A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311733111.9
申请日：2023-12-15
Applicant: 河南大学
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明涉及一种经皮给药微装置，属于医药技术领域，包括：第一硅片层、第二硅片层及SO I硅片层，第一硅片层的底面阵列式固定有多个微针针筒且其顶面设有多个分别与多个微针针筒相通的流通孔，多个微针针筒的底端均固定有微针针头；第二硅片层的底面键合在第二硅片层的顶面且其内部设有与多个流通孔连通的储液腔，第二硅片层的顶面设有与储液腔相通的送药孔；SO I硅片层键合在第二硅片层的顶面。本发明通过在SOI硅片层的SOI基体层和振动膜层之间连通交变电压，可以在振动膜层、第二支撑层、隔离层和SOI基体层之间构成双频或多频微超声传感器，再结合阵列分布的微针针筒和微针针头，可以提高药物溶液在皮下组织中的渗透率和吸收率。
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公开(公告)号：CN110812686B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201911081493.5
申请日：2019-11-07
Applicant: 河南大学
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种制造微针阵列的微加工工艺和微针。本发明提供的监视孔工艺方法，将盲孔的刻蚀转变成对通孔的控制，只要先在硅片顶部将监视孔的深度刻蚀成硅片厚度与长盲孔的差值，然后在硅片底部刻蚀长盲孔时，当监视孔被从硅片底部方向刻蚀透时，即表示此时的长盲孔的长度已经满足所需的长度，可停止继续进行刻蚀，从而可避免长盲孔的长度误差；本发明提供的复合层掩膜工艺方法，通过将最上层掩膜和最低层掩膜设置成不同的形状，先通过上层掩膜，刻蚀后获得一种结构；然后去除上层掩膜后，通过下层掩膜，刻蚀后可获得较复杂的三维结构。本发明提供的微针的药液出口为侧出口，不存在皮肤组织阻塞药液出口的问题；同时，也可防止药液的泄漏。
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公开(公告)号：CN113868913A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111143402.3
申请日：2021-09-28
Applicant: 河南大学
IPC: G06F30/23 , G06F30/20 , G06F111/10
Abstract: 本发明提出了一种随机微纳目标的两级交互动态网格建模方法，该方法主要包括如下步骤：S1第一级确定性的网格单元的建立，并保存该网格单元的编号及坐标值；S2根据随机样本的数量，生成服从某一概率密度函数的随机变量，并记录随机变量所对应的坐标位置。将随机变量的坐标位置交互填充到S1中生成的第一级网格中，获得第二级网格单元；S3根据问题的样本个数，重复步骤S2获得多个随机微纳目标的电磁计算模型。本发明能实现对随机几何目标微小形变、细小凸起、随机裂缝等不确定缺陷的建模和剖分，能准确模拟随机微纳目标的实体，提高数值求解精度；解决重复性地对大样本建模剖分浪费计算资源的难题，减少数值计算的执行时间，加快电磁计算收敛速度。
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公开(公告)号：CN106315506A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610655181.0
申请日：2016-08-11
Applicant: 河南大学
Abstract: 本发明公开了一种本发明涉及微加工工艺和相关的复合微机械电容式超声换能器，提供了一种复合微机械电容式超声换能器（复合CMUT）的加工制备方法。利用此方法使CMUT单元中高频和低频结构较易在单一CMUT单元实现。CMUT的高频结构和低频结构分别在不同的硅片上实现，通过硅片键合将高频和低频结构组合，实现了复合CMUT单元。该工艺采用的是双SOI硅片键合，工艺步骤少、掩膜板少（仅需三个）、工艺简单、可靠、可批量生产，加工成本相比较低、器件灵敏度高、性能一致性好、成品率高。
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公开(公告)号：CN113868863B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202111142941.5
申请日：2021-09-28
Applicant: 河南大学
IPC: G06F30/20 , G06F17/10 , G01R29/08 , G06F119/02
Abstract: 本发明涉及一种用于不确定结构目标的统计电磁DGTD计算方法，本发明基于统计概率模型及理论，首先构造适合问题需求的不确定介质参数的概率模型，随机生成服从该概率模型的足够数量的随机样本；其次，对每个随机样本，通过两级交互动态网格生成策略进行建模剖分；之后，对每个随机网格执行一次时域间断伽辽金方法DGTD数值计算，并保存每次数值计算的结果。并根据问题样本的大小，反复调用电磁求解器DGTD，求出问题的随机解；最后，统计分析数值结果，给出解的统计估计值或精度估计值，如概率、均值和方差等。本发明提供了一种新的DGTD方法求解随机电磁目标的时域电磁学问题的路径，具有网格剖分快、计算精度高和鲁棒性好的特点。
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