公开(公告)号：CN110045158B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201910368208.1

申请日：2019-05-05

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 范超 ,  袁硕 ,  柳钢吒 ,  田贺 ,  王蒙军 ,  郑宏兴 ,  李尔平

IPC: G01R1/04 ,  G01R1/067 ,  G01M11/02 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明微型器件测试腔，该测试腔包括：测试腔主体、透光玻璃固定板、透光玻璃、样品进口挡板以及探针管，测试腔主体与透光玻璃、样品进口挡板围成密闭空间，透光玻璃通过透光玻璃固定板固定在测试腔主体上；测试腔主体内部放置待测试样品，在待测试样品上方的测试腔主体上设置进光口，在测试腔主体的侧壁上均匀设置有多个探针管窗口，多个探针窗口朝向测试样品所在方向倾斜设置，在每个探针窗口内均密封连接探针管，探针管内设置探针，探针穿出探针管一端接触待测试样品；在测试腔体上还设置有通气孔。该测试腔可以在不改变器件的位置同时，实现对器件光电性质的原位测量，能通过改变气体的种类和流速等参数测试器件的气敏性质。

公开(公告)号：CN110045158A

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201910368208.1

申请日：2019-05-05

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 范超 ,  袁硕 ,  柳钢吒 ,  田贺 ,  王蒙军 ,  郑宏兴 ,  李尔平

IPC: G01R1/04 ,  G01R1/067 ,  G01M11/02 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明微型器件测试腔，该测试腔包括：测试腔主体、透光玻璃固定板、透光玻璃、样品进口挡板以及探针管，测试腔主体与透光玻璃、样品进口挡板围成密闭空间，透光玻璃通过透光玻璃固定板固定在测试腔主体上；测试腔主体内部放置待测试样品，在待测试样品上方的测试腔主体上设置进光口，在测试腔主体的侧壁上均匀设置有多个探针管窗口，多个探针窗口朝向测试样品所在方向倾斜设置，在每个探针窗口内均密封连接探针管，探针管内设置探针，探针穿出探针管一端接触待测试样品；在测试腔体上还设置有通气孔。该测试腔可以在不改变器件的位置同时，实现对器件光电性质的原位测量，能通过改变气体的种类和流速等参数测试器件的气敏性质。