具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法

    公开(公告)号:CN119342949A

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202411545306.5

    申请日:2024-11-01

    Abstract: 本发明为具有湿法刻蚀P电极的发光二极管的制备方法。该方法在倒装结构DUV LEDs制备方法上,采用湿法刻蚀技术对已经形成良好欧姆接触的Ni/Au进行处理,即生长Ni后再生长Au,得到Ni/Au后,将其进行退火处理,然后再针对厚Au进行Au的刻蚀,把本来Au和Ni形成的颗粒去掉一部分Au,这样颗粒之间的间隙增大了,并造成Au的减薄,会减少对光的吸收,更多的光子可以通过空隙被金属反射镜反射,增加了其透过率。本发明克服了现有技术上P电极不能同时兼顾良好的欧姆接触特性和高透过率的问题。

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