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公开(公告)号：CN102828156A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210308812.3
申请日：2012-08-28
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化锌薄膜型的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法。本发明在超高真空多功能射频磁控溅射设备上，按照下述步骤进行：溅射前将系统抽为真空，系统的气压达到3x10-3Pa；打开氧气和氩气的气路阀门，向系统中通入这两种气体，给陶瓷管载片加热，温度达到250℃；Zn靶和载片间电压为300-400V,溅射电流为0.1-0.3A，预溅射8-12分钟，溅射20分钟，让系统的温度冷却至室温，然后向真空室充入氮气，达到105Pa时打开真空室取出样品即成。本发明采用溅射法制备气敏元件，所制备出的气敏元件仅对丙酮蒸气有敏感特性,可在众多的混合有机蒸气中,检测出丙酮蒸气的存在与否及其浓度。
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公开(公告)号：CN102978578B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201210309002.X
申请日：2012-08-28
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化铜掺杂二氧化锡基的氨气气敏传感器的制备方法。本发明步骤如下：将纯度均为99.99%的Cu靶材和Sn靶材分别放在两个射频溅射靶上，将Al2O3陶瓷管放在样品托上；溅射前将系统抽为真空，直至系统的气压达到10-3-10-5Pa；打开氧气和氩气的气路阀门，使其保持在6×100-3×10-1Pa；预溅射10分钟后移开挡盘，同时将Sn靶的功率调到60-80W,Cu靶的功率调到20-60W，溅射45分钟；达到105Pa时打开真空室取出样品；在马弗炉内，进行300℃-500℃退火1-3小时即成。本发明所制备出的气敏元件对氨气有很好的选择性,可在众多的混合气体中快速有效的检测出氨气。本发明制备出的气敏元件灵敏度高、响应恢复时间短。
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公开(公告)号：CN102978578A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210309002.X
申请日：2012-08-28
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化铜掺杂二氧化锡基的氨气气敏传感器的制备方法。本发明步骤如下：将纯度均为99.99%的Cu靶材和Sn靶材分别放在两个射频溅射靶上，将Al2O3陶瓷管放在样品托上；溅射前将系统抽为真空，直至系统的气压达到10-3-10-5Pa；打开氧气和氩气的气路阀门，使其保持在6×100-3×10-1Pa；预溅射10分钟后移开挡盘，同时将Sn靶的功率调到60-80W,Cu靶的功率调到20-60W，溅射45分钟；达到105Pa时打开真空室取出样品；在马弗炉内，进行300℃-500℃退火1-3小时即成。本发明所制备出的气敏元件对氨气有很好的选择性,可在众多的混合气体中快速有效的检测出氨气。本发明制备出的气敏元件灵敏度高、响应恢复时间短。
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