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公开(公告)号：CN112331552B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202011333728.8
申请日：2020-11-25
Applicant: 江西省纳米技术研究院 , 广东中科半导体微纳制造技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种准分子灯，包括透光容器、至少一对电极和具有滤波功能的介质膜层，所述透光容器内封装有放电用气体，所述至少一对电极之间能够形成使放电用气体发生电离的电场，介质膜层设置于透光容器的外表面。本发明通过在准分子灯高电场区外侧增加带有滤波功能的介质膜，使得准分子灯具有单色性好、输出功率高、稳定性和可靠性好等优点，有助于拓宽准分子灯的应用领域。
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