公开(公告)号：CN220635465U

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202322223439.8

申请日：2023-08-18

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 唐昊亮 ,  代露露

IPC: B08B1/32 ,  B08B1/12 ,  B08B3/02 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型涉及一种晶圆清洗结构，包括：清洗刷，清洗刷包括内部设置的中空部件和与中空部件连通的出口，中空部件供清洗液通过并自出口流出至外部；进液轴，进液轴的内部设置有进液通道，进液通道与中空部件连通，用于供流向中空部件的清洗液通过；第一轴承，包括外圈和内圈，清洗刷的第一端套设在外圈外侧，内圈套设在进液轴外侧，清洗刷受外力在第一轴承作用下能够相对于进液轴转动。本实用新型通过将清洗刷的一端设轴承，使得与之对接的进液轴及其配套结构可以简化结构，且在本申请的方案中避免了进液轴参与转动，其使用寿命更长。

公开(公告)号：CN308553516S

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202330488628.0

申请日：2023-08-02

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 高彪 ,  唐昊亮 ,  吴疆 ,  李莹莹 ,  代露露

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：单片立式清洗机。
2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆立式清洗及干燥。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.属于常规下不可见视图，省略仰视图。