一种高深宽比微孔槽标准器

    公开(公告)号:CN221037183U

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202420441652.8

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本实用新型属于计量检测技术领域,具体地说是一种高深宽比微孔槽标准器,包括封装罩、标准样板和基底板,标准样板平置于基底板的中央并与其固定相连;标准样板上刻蚀用于表征和溯源的具有高深宽比特征的微孔槽结构和用于快速循迹的定位结构;封装罩采用可拆取结构,能够有效防止标准样板污染;可根据高深宽比三维结构无损测量系统的分辨能力及定位方式,通过参考图案和引导图案的设置,达到各类型测量仪器快速、准确循迹至微孔槽有效测量区域的效果,满足对技术方案各异、工作原理不同的高深宽比微孔槽结构无损测量仪器设备的校准需求,为半导体高深宽比微孔槽无损测量仪器设备的现场校准提供量传实物的载体。

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