公开(公告)号：CN101314844B

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200810122991.5

申请日：2008-06-20

Applicant: 江苏大学

Inventor： 左然 ,  王国斌 ,  徐谦

IPC: C23C16/18

Abstract: 本发明公开了一种水平切向进口、中心垂直出口的MOCVD反应室。其特征为：反应室为圆柱形腔体，反应室内有水平旋转托盘，气体进口沿周向均匀布置在反应室侧壁上，尾气出口位于反应室的中心轴线上。反应气体沿切向喷入反应室，在反应室侧壁的约束下，气体在基片上方的平行平面内逐渐旋转和加速。通过调节喷管的角度和气体进口速度、压强等操作参数，在反应室内得到人为可控的螺旋流动，从而控制反应物浓度从边缘到中心均匀分布，实现薄膜的均匀生长。

公开(公告)号：CN101314844A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200810122991.5

申请日：2008-06-20

Applicant: 江苏大学

Inventor： 左然 ,  王国斌 ,  徐谦

IPC: C23C16/18

Abstract: 本发明公开了一种水平切向进口、中心垂直出口的MOCVD反应室。其特征为：反应室为圆柱形腔体，反应室内有水平旋转托盘，气体进口沿周向均匀布置在反应室侧壁上，尾气出口位于反应室的中心轴线上。反应气体沿切向喷入反应室，在反应室侧壁的约束下，气体在基片上方的平行平面内逐渐旋转和加速。通过调节喷管的角度和气体进口速度、压强等操作参数，在反应室内得到人为可控的螺旋流动，从而控制反应物浓度从边缘到中心均匀分布，实现薄膜的均匀生长。