公开(公告)号：CN108321205B

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201810059011.5

申请日：2018-01-22

Applicant: 江苏大学

Inventor： 朱亚太 ,  赵新宏 ,  吕柳 ,  段永胜 ,  刘永旺 ,  李凯

IPC: H01L29/78 ,  B82Y40/00 ,  C01G3/02 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明提供基于金‑氧化亚铜纳米线网状结构等离激元FET及制备方法。包括以下步骤：制作氧化亚铜纳米线；将表面活性剂和弱还原剂溶解到蒸馏水中，加热，并保持恒温，再将氧化亚铜纳米线倒入溶液中，搅拌，得到混合溶液；调节四氯金酸溶液PH值到弱碱性，将的四氯金酸溶液缓慢加入混合溶液中，形成Au‑Cu2O纳米复合结构；将Au‑Cu2O纳米复合结构溶于水与表面张力小的溶剂混合液中，得到Au‑Cu2O纳米复合结构溶液；将Au‑Cu2O纳米复合结构溶液均匀的铺到FET衬底上，形成纳米线网状结构，低温自然晾干；低温热退火，确保纳米复合结构与衬底上的金线欧姆接触，制作出具有Au‑Cu2O纳米线网状结构的FET。本发明制作方法具有简单，快速，成本低廉等特点，比传统FET更加灵敏，探测范围也更广。

公开(公告)号：CN108321205A

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201810059011.5

申请日：2018-01-22

Applicant: 江苏大学

Inventor： 朱亚太 ,  赵新宏 ,  吕柳 ,  段永胜 ,  刘永旺 ,  李凯

IPC: H01L29/78 ,  B82Y40/00 ,  C01G3/02 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明提供基于金-氧化亚铜纳米线网状结构等离激元FET及制备方法。包括以下步骤：制作氧化亚铜纳米线；将表面活性剂和弱还原剂溶解到蒸馏水中，加热，并保持恒温，再将氧化亚铜纳米线倒入溶液中，搅拌，得到混合溶液；调节四氯金酸溶液PH值到弱碱性，将的四氯金酸溶液缓慢加入混合溶液中，形成Au-Cu2O纳米复合结构；将Au-Cu2O纳米复合结构溶于水与表面张力小的溶剂混合液中，得到Au-Cu2O纳米复合结构溶液；将Au-Cu2O纳米复合结构溶液均匀的铺到FET衬底上，形成纳米线网状结构，低温自然晾干；低温热退火，确保纳米复合结构与衬底上的金线欧姆接触，制作出具有Au-Cu2O纳米线网状结构的FET。本发明制作方法具有简单，快速，成本低廉等特点，比传统FET更加灵敏，探测范围也更广。