公开(公告)号：CN118826679A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202310434292.9

申请日：2023-04-20

申请人： 江苏卓胜微电子股份有限公司

发明人： 曹亮 ,  付先 ,  姚远 ,  宋崇希 ,  龙峥 ,  程一民 ,  沙小强

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H3/08

摘要： 本申请涉及一种声表面波谐振器及其制造方法，声表面波谐振器包括压电层和电极单元，压电层的第一表面上具有中心区域，中心区域上设有声波漫反射区，声波漫反射区向压电层的内部凹陷，电极单元设置在压电层的第一表面上，电极单元包括第一汇流条、平行于第一汇流条的第二汇流条、从第一汇流条向第二汇流条延伸的多条第一电极指，从第二汇流条向第一汇流条延伸的多条第二电极指，第一电极指的端面与中心区域的端面间具有第一距离，第二电极指的端面与中心区域的端面间具有第二距离；本申请的声表面波谐振器，通过在压电层的中心区域上制备声波漫反射区，使声波漫反射区可有效阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径，从而达到横模抑制的目的。

公开(公告)号：CN220693119U

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202320793968.9

申请日：2023-04-11

申请人： 江苏卓胜微电子股份有限公司

发明人： 沙小强 ,  冉忠堂 ,  宋崇希 ,  杨美君 ,  姚艳龙 ,  王放

IPC分类号： H03H9/25 ,  H03H9/145 ,  H03H9/02 ,  H03H9/64

摘要： 本申请涉及一种声表面波谐振器结构及声表面波滤波器，包括：压电基板；叉指换能器，位于所述压电基板的一侧；温度补偿层，位于所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧；扩散阻挡层，位于所述叉指换能器与所述温度补偿层之间。本申请的声表面波谐振器结构在叉指换能器表面形成扩散阻挡层，扩散阻挡层将叉指换能器完全覆盖，使叉指换能器完全与温度补偿层相隔离。扩散阻挡层防止了叉指换能器采用的材料(例如铜)扩散到温度补偿层中，保证了叉指换能器形貌的完整，改善了器件的空洞，并对器件频率的离散和损耗均有所改善。此外，基于本申请的声表面波谐振器结构制作的滤波器可以提升整片晶圆器件的离散性，改善区域电性能不良的问题，适合大规模生产。