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公开(公告)号：CN116970907A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310969926.0
申请日：2023-08-02
Applicant: 江南大学
Abstract: 本申请公开了一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法，涉及纳米薄膜电极领域，该方法在真空镀膜腔室中，利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用金属靶材在硅片基底表面制备纳米级厚度的金属纳米薄膜，然后切换至使用铝靶材，并利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用铝靶材在金属纳米薄膜表面制备具有预定纳米级厚度的铝纳米薄膜，制备得到金属纳米薄膜电极。铝纳米薄膜在高温下稳定吸附在金属纳米薄膜表面，且厚度可控，表面平整，与金属纳米薄膜表面结合强度高。铝纳米薄膜在空气中氧化形成的氧化铝膜可有效避免金属纳米薄膜的高温氧化，从而有利于提高金属纳米薄膜电极的抗氧化性，使得金属纳米薄膜电极能够具有较高的极限工作温度。
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公开(公告)号：CN219547073U
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202320890740.1
申请日：2023-04-19
Applicant: 江南大学
Abstract: 本实用新型涉及一种蒸发镀膜仪用循环水冷装置，包括蒸发镀膜仪的外壳和基台，外壳的外部安装有驱动电机，驱动电机的输出端通过伸缩轴连接主动轮，主动轮与从动轮配合安装，从动轮通过紧固件与内部中空的升降旋转机构配合安装，升降旋转机构的底部通过螺纹与基台配合安装，基台的底部贴合安装有呈圆盘状的冷却机构，冷却机构的内部通过进水管与水泵的出水端连接，冷却机构的内部通过出水管与水箱的内部连通；水箱的内部通过连接管与水泵的进水端连接。通过在基台底部安装冷却机构，增大基台与冷却机构间的接触面积，从而提高冷却效果；同时，基台与升降旋转机构采用螺纹连接方式，拆卸更换方便。
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