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公开(公告)号:CN117434733A
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202311419782.8
申请日:2023-10-30
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G02B27/09
Abstract: 本申请提供一种用于产生不同形状平顶光源的激光匀化方法,包括特定形状芯光纤和方形芯光纤,特定形状芯光纤和方形芯光纤端面对接,方形芯光纤的纤芯截面为方形,特定形状芯光纤和方形芯光纤对接处特定形状芯光纤的纤芯截面完全覆盖方形芯光纤的纤芯截面;激光从激光器输出后进入方形芯光纤,方形芯光纤将激光器输出的单模或多模激光匀化;方形芯光纤尾端再与特定形状芯光纤进行连接,连接方式为熔接或耦合器连接;经匀化的激光进入特定形状芯光纤内并通过光纤准直镜准直并发出,光斑形状为与特定形状芯光纤纤芯形状相同的形状,激光能量分布为平顶分布,解决了传统的激光匀化方式效果不稳定,适用范围小的问题。
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公开(公告)号:CN117434716A
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202311323815.9
申请日:2023-10-13
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种具有旋转扫描及成像功能的多芯光纤复合装置,包括中央成像光纤束组,中央成像光纤束组包括多个成像光纤束,中央成像光纤束组外侧沿周向设有多个飞秒激光输出光纤束,成像光纤束和飞秒激光输出光纤束输出端设有端面输出镜,飞秒激光输出光纤束远离端面输出镜的一端设有可转动的转动环,还设有飞秒激光输入光纤束,飞秒激光输入光纤束一端随转动环转动以依次对准各飞秒激光输出光纤束,解决了普通的飞秒激光光纤,照射点单一,无法范围扫描,以及热效应明显,易损伤被照射物的问题。
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公开(公告)号:CN119805876A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202510126878.8
申请日:2025-01-27
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种用于半导体制备的投影曝光光刻光源系统,包括依次布置的:激光光源;衰减控制器,用于主动控制输出的激光功率;光束耦合器,用于将光束耦合至匀化光纤;匀化光纤,用于使入射的激光光束的能量在水平面上分布均匀;准直扩束器,用于将入射光束直径扩大或缩小至一定倍数,输入端发散角微调结构,在调试准直后可固定,保证输出光斑的准直及稳定,并将光导向掩膜版。本发明采用匀化光纤,省略大量的反射镜和透镜,尤其是复眼透镜、狭缝衍射器等设备,大幅减少光束受灰尘影响和受设备精度影响的几率,提高光束质量。由于零部件的大量减少,使整个光刻系统的生产成本和控制难度大幅降低,能够提供稳定可靠的光刻曝光用激光。
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公开(公告)号:CN119735368A
公开(公告)日:2025-04-01
申请号:CN202411905121.0
申请日:2024-12-23
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种光纤退除扭转力装置,包括转动架和非转动架,转动架上设有可转动的放纤盘,非转动架上设有可转动的收纤盘,收纤盘和放纤盘之间依次设有第一夹具装置和第二夹具装置,第一夹具装置设在非转动架上,第二夹具装置设在转动架上,第一夹具装置和第二夹具装置之间还设有激光干涉装置,光纤由放纤盘出发,依次经过第二夹具装置、激光干涉装置和第一夹具装置后到达收纤盘上,解决了拉制光纤退扭力的问题。
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公开(公告)号:CN119535677A
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202411970874.X
申请日:2024-12-30
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
Abstract: 一种空芯反谐振光纤跳线制作方法,具体步骤包括:使用精密切割装置将30cm长的HC‑ARF两端切割成小于1°的角度,确保切割端面完整无裂纹;将切割完成的HC‑ARF与10cm长的无芯光纤熔接,防止包层管塌陷;采用双组分环氧树脂胶水精确注入陶瓷插芯,确保胶水均匀填充,提供机械支撑;将熔接后的光纤组合体穿入保护套并插入陶瓷插芯,固化处理后进行端面研磨,确保无崩边、无开裂、无划痕。最终产品经过严格检测,戴上防尘帽,形成紧凑美观的空芯反谐振光纤跳线。本发明通过优化切割、熔接、注胶和研磨工艺,提升了连接器的稳定性和可靠性,降低了信号传输损耗,适用于多种光纤接口,具有广泛的应用前景。
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