公开(公告)号：CN101878320A

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200880118008.0

申请日：2008-11-01

Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)

Inventor： F·朱恩德 ,  M·迈耶 ,  S·克拉斯尼泽 ,  J·格维亨伯格

IPC: C23C14/22 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/44 ,  C23C14/22

Abstract: 本发明涉及镀膜设备的框架式真空室，该真空室包括一个用镶嵌板镶嵌的框架。镶嵌板与框架一起组成一个可产生真空的空间。该框架的蒙皮最好用一整块金属件切去大面积材料制成，由此形成镶嵌板的孔洞，其优点是，镶嵌板嵌入的地方没有焊缝。

公开(公告)号：CN101878320B

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN200880118008.0

申请日：2008-11-01

Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)

Inventor： F·朱恩德 ,  M·迈耶 ,  S·克拉斯尼泽 ,  J·格维亨伯格

IPC: C23C14/22 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/44 ,  C23C14/22

Abstract: 本发明涉及镀膜设备的框架式真空室，该真空室包括一个用镶嵌板镶嵌的框架。镶嵌板与框架一起组成一个可产生真空的空间。该框架的蒙皮最好用一整块金属件切去大面积材料制成，由此形成镶嵌板的孔洞，其优点是，镶嵌板嵌入的地方没有焊缝。