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发明公开
音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法无效

公开(公告)号：CN102907118A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201180025800.3

申请日：2011-04-20

Applicant: 欧姆龙株式会社 , 意法半导体股份有限公司

Inventor： 石本浩一 , 多田罗佳孝 , 犬塚伸 , S·康蒂

IPC: H04R19/04 , H04R31/00

CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2410/03

Abstract: 在本发明的音响传感器(1)中，在硅基板(11)的上表面，隔着气隙(22)而配置有导电性的振动膜(14)和上固定电极板(5)，并且在硅基板(11)的表面上添加有杂质。

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