公开(公告)号：CN105934665B

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201580005275.7

申请日：2015-02-19

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 近藤正敬 ,  北岛功朗 ,  稻叶丰

IPC: G01N21/88 ,  G01M11/00 ,  G02F1/13

Abstract: 检查装置对层叠有片状的光学部件的被检查体进行检查，该检查装置具有：带电部，其使光学部件带电；以及检查部，其对光学部件带电的状态下的被检查体进行检查。

公开(公告)号：CN105934665A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201580005275.7

申请日：2015-02-19

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 近藤正敬 ,  北岛功朗 ,  稻叶丰

IPC: G01N21/88 ,  G01M11/00 ,  G02F1/13

CPC classification number: G01N21/88

Abstract: 检查装置对层叠有片状的光学部件的被检查体进行检查，该检查装置具有：带电部，其使光学部件带电；以及检查部，其对光学部件带电的状态下的被检查体进行检查。