公开(公告)号：CN1417826A

公开(公告)日：2003-05-14

申请号：CN02150233.1

申请日：2002-11-05

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 秋叶朗 ,  宇野圭辅 ,  城岛正男 ,  积知范 ,  佐野浩二

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2059/0018 ,  H01H2059/0072

Abstract: 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。

公开(公告)号：CN1258795C

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN02150233.1

申请日：2002-11-05

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 秋叶朗 ,  宇野圭辅 ,  城岛正男 ,  积知范 ,  佐野浩二

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2059/0018 ,  H01H2059/0072

Abstract: 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。