公开(公告)号：CN103068515A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201180039657.3

申请日：2011-03-16

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 高仓毅 ,  小林光生 ,  瓦谷诚一郎

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/073 ,  B23K26/36 ,  G02B26/10 ,  H01S3/00

CPC classification number: B23K26/0853 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/082 ,  B23K2103/56

Abstract: 抑制薄膜太阳能电池板的除边的加工时间的增加，同时提高加工质量。按照箭头（311a）、箭头（311b）、…、箭头(311k)的顺序重复以下处理，即将光点向光学单元对于薄膜太阳能电池板(102)前进的主扫描方向扫描后，移动到相邻一行，向主扫描方向的反方向扫描后，移动到相邻一行。然后，将光点向箭头(311k)的方向扫描后，向箭头(311l)的方向扫描，下一个加工块也同样地将光点进行扫描。重复该扫描，直到沿薄膜太阳能电池板(102)的边缘(301a)的直线形的区域的薄膜剥离完成。本发明例如可以适用于进行除边的激光加工装置。