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公开(公告)号：CN107152983B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201710076012.6
申请日：2017-02-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种压力传感器，可实现小型化及高精度化。压力传感器具备：压力传感器芯片，其具备膜片、设于膜片且可产生与该膜片的变形相对应的电信号的传感器部、将来自传感器部的电信号向外部输出的输出端子部，包括压力基准室、膜片及传感器部在内的检测部、和半导体基板内除检测部以外的区域被槽分开，槽与在设置了膜片的面的相反面上设置的开口部连通；电路部，其相对于从压力传感器芯片的输出端子部输出的电信号而进行规定的运算处理，膜片和输出端子部形成在同一面上，以压力传感器芯片的输出端子和电路部的输入端子部直接或间接地相接的方式固定，电路部及压力传感器芯片以开口部在外部露出的方式被密封件覆盖。
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公开(公告)号：CN105848076B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201610069975.9
申请日：2016-02-01
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种声响传感器，包括：背面板，包含以与半导体基板的表面相对向的方式而配设的固定板以及设置在固定板上的固定电极膜；振动电极膜，以与背面板介隔空隙且相对向的方式而配设；并且将声响振动转换成振动电极膜与固定电极膜之间的静电电容的变化来进行检测，振动电极膜包含感应到声压而进行振动的板状振动部，并通过包含一个或多个固定部的固定构件而固定在背面板上，一个或多个固定部的至少一部分具有设置在从振动部的边缘突出的梁的突端上的突端固定部，背面板的边缘以至少包围突端固定部的周围的一部分的方式而形成。藉此，可一方面抑制在各部产生的应力，一方面改善振动电极膜及背面板的耐冲击性能。
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公开(公告)号：CN104918195B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201510111785.4
申请日：2015-03-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 奥川晃宏
IPC: H04R23/00
Abstract: 一种静电容量型转换器，可提高隔膜的耐粘附性和耐破损性。本发明的静电容量型转换器在具有空洞(35)的基板(32)上配设有隔膜(33)。从隔膜(33)的外周延伸的脚片(36)通过锚固件(38)固定在基板(32)上。隔膜(33)的上方通过保持固定电极板(40)的背板(34)覆盖。在背板(34)的下面，向隔膜(33)突出有多个止动件(43a、43b)。止动件由突出长度不同的两种止动件构成，在与隔膜(33)的固定部附近或隔膜(33)的外周部相对的区域设置的止动件(43b)的突出长度比设于其以外的区域的止动件(43a)长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104918169A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510082003.9
申请日：2015-02-15
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 奥川晃宏
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 一种具有多个传感部的静电电容型转换器、音响传感器及传声器，其中，可以提高耐粘贴性和耐破损性。通过利用缝隙(37)分割隔膜，形成第一隔膜(33a)和面积比第一隔膜(33a)小的第二隔膜(33b)。第一固定电极板(39a)与第一隔膜(33a)相对，构成小音量、高灵敏度的第一音响传感部(43a)。第二固定电极板(39b)与第二隔膜(33b)相对，构成大音量、低灵敏度的第二音响传感部(43b)。从保持隔膜(33a、33b)的背板(38)向第一隔膜(33a)突出有突出长度比较短的止动件(45a)，且从保持隔膜(33a、33b)的背板(38)向第二隔膜(33b)突出有突出长度比较长的止动件(45b)。
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公开(公告)号：CN104918169B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201510082003.9
申请日：2015-02-15
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 奥川晃宏
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 一种具有多个传感部的静电电容型转换器、音响传感器及传声器，其中，可以提高耐粘贴性和耐破损性。通过利用缝隙(37)分割隔膜，形成第一隔膜(33a)和面积比第一隔膜(33a)小的第二隔膜(33b)。第一固定电极板(39a)与第一隔膜(33a)相对，构成小音量、高灵敏度的第一音响传感部(43a)。第二固定电极板(39b)与第二隔膜(33b)相对，构成大音量、低灵敏度的第二音响传感部(43b)。从保持隔膜(33a、33b)的背板(38)向第一隔膜(33a)突出有突出长度比较短的止动件(45a)，且从保持隔膜(33a、33b)的背板(38)向第二隔膜(33b)突出有突出长度比较长的止动件(45b)。
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公开(公告)号：CN107152983A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201710076012.6
申请日：2017-02-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种压力传感器，可实现小型化及高精度化。压力传感器具备：压力传感器芯片，其具备膜片、设于膜片且可产生与该膜片的变形相对应的电信号的传感器部、将来自传感器部的电信号向外部输出的输出端子部，包括压力基准室、膜片及传感器部在内的检测部、和半导体基板内除检测部以外的区域被槽分开，槽与在设置了膜片的面的相反面上设置的开口部连通；电路部，其相对于从压力传感器芯片的输出端子部输出的电信号而进行规定的运算处理，膜片和输出端子部形成在同一面上，以压力传感器芯片的输出端子和电路部的输入端子部直接或间接地相接的方式固定，电路部及压力传感器芯片以开口部在外部露出的方式被密封件覆盖。
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公开(公告)号：CN105848076A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610069975.9
申请日：2016-02-01
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , H04R19/04 , H04R31/006 , H04R2410/03 , H04R2400/01
Abstract: 本发明提供一种声响传感器，包括：背面板，包含以与半导体基板的表面相对向的方式而配设的固定板以及设置在固定板上的固定电极膜；振动电极膜，以与背面板介隔空隙且相对向的方式而配设；并且将声响振动转换成振动电极膜与固定电极膜之间的静电电容的变化来进行检测，振动电极膜包含感应到声压而进行振动的板状振动部，并通过包含一个或多个固定部的固定构件而固定在背面板上，一个或多个固定部的至少一部分具有设置在从振动部的边缘突出的梁的突端上的突端固定部，背面板的边缘以至少包围突端固定部的周围的一部分的方式而形成。藉此，可一方面抑制在各部产生的应力，一方面改善振动电极膜及背面板的耐冲击性能。
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公开(公告)号：CN104918195A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510111785.4
申请日：2015-03-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 奥川晃宏
IPC: H04R23/00
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R19/016 , H04R19/04 , H04R23/006 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 一种静电容量型转换器，可提高隔膜的耐粘附性和耐破损性。本发明的静电容量型转换器在具有空洞(35)的基板(32)上配设有隔膜(33)。从隔膜(33)的外周延伸的脚片(36)通过锚固件(38)固定在基板(32)上。隔膜(33)的上方通过保持固定电极板(40)的背板(34)覆盖。在背板(34)的下面，向隔膜(33)突出有多个止动件(43a、43b)。止动件由突出长度不同的两种止动件构成，在与隔膜(33)的固定部附近或隔膜(33)的外周部相对的区域设置的止动件(43b)的突出长度比设于其以外的区域的止动件(43a)长。
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