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公开(公告)号:CN1215315C
公开(公告)日:2005-08-17
申请号:CN03131277.2
申请日:2003-05-12
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01L9/0075
Abstract: 一种静电电容式压力传感器及其制造方法。该传感器组装精度高,没有检测精度偏移。其在基板11、21的相对面中的平板电极12、22的周围设环状的间隔基18;同时在上述间隔基18的周围设有由软化点或者熔点比间隔基18低的材料形成熔结23,熔结的内径与间隔基的外径相同或略大。
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公开(公告)号:CN1469109A
公开(公告)日:2004-01-21
申请号:CN03131277.2
申请日:2003-05-12
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01L9/0075
Abstract: 一种静电电容式压力传感器及其制造方法。该传感器组装精度高,没有检测精度偏移。其在基板11、21的相对面中的平板电极12、22的周围设环状的间隔基18;同时在上述间隔基18的周围设有由软化点或者熔点比间隔基18低的材料形成熔结23。
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公开(公告)号:CN1573309A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN03141204.1
申请日:2003-06-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01L9/12
CPC classification number: G01L9/0072 , G01L19/0069 , G01L19/0084 , G01L19/143
Abstract: 一种压力传感器的装配结构及其装配方法,其没有由装配时的应力产生的误差,能确保相同的检测精度。该压力传感器装配结构由基座(10)和传感器元件(12)组成。所述基座(10),其在一端侧有流体导入口(10a),在另一端侧有与所述流体导入口(10a)连通的开口部;所述传感器元件(12),其从所述基座(10)的开口部插入,固定在所述基座(10)上,使设在其一面上的连接面从所述开口部侧露出。
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