传感头
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113439193B

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202080014770.5

    申请日:2020-02-19

    Inventor: 古川慎也

    Abstract: 提供一种传感头,可在缩短测量时间的同时,提高测定精度。传感头(100)包括壳(1),所述壳(1)具有:在内部具有透镜(5)的第一壳部(2)、在内部具有物镜(7)的第二壳部(3)、以及将第一壳部(2)与第二壳部(3)之间连接的第三壳部(13);在第三壳部(13),在内部配置有使从透镜(5)侧入射的光朝向物镜(7)侧弯曲的反射镜构件(135),且设置有将分别形成于反射镜构件(135)及物镜(7)的贯通孔连通的中空的筒(310)。

    共焦测量装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108534682A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201711379400.8

    申请日:2017-12-19

    Abstract: 本发明提供一种便利性优异的共焦测量装置。共焦测量装置(1)包括:光源(10);光学系统(30),接收来自测量面的反射光;导光部(20),内置包含第1芯线(26)及第2芯线(28)的多根芯线,通过所述多根芯线来传播所述反射光;位移量测定部(40),具备分光器(42)及检测器(44),所述分光器(42)将经所述第1芯线传播的所述反射光分离为各波长成分,所述检测器(44)对应于所述分光器的分光方向而配置有多个受光元件;以及周边图像测定部(60),将经所述第2芯线传播的所述反射光成像于多个摄像元件上,生成所述测量面的测量位置的周边的图像。

    共焦测量装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108534682B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201711379400.8

    申请日:2017-12-19

    Abstract: 本发明提供一种便利性优异的共焦测量装置。共焦测量装置(1)包括:光源(10);光学系统(30),接收来自测量面的反射光;导光部(20),内置包含第1芯线(26)及第2芯线(28)的多根芯线,通过所述多根芯线来传播所述反射光;位移量测定部(40),具备分光器(42)及检测器(44),所述分光器(42)将经所述第1芯线传播的所述反射光分离为各波长成分,所述检测器(44)对应于所述分光器的分光方向而配置有多个受光元件;以及周边图像测定部(60),将经所述第2芯线传播的所述反射光成像于多个摄像元件上,生成所述测量面的测量位置的周边的图像。

    光学传感器以及光学传感器的异常检测方法

    公开(公告)号:CN109579705A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201810594215.9

    申请日:2018-06-11

    Abstract: 本发明提供一种无须设置传感器等附加检测机构便能够检测接合异常的光学传感器及光学传感器的异常检测方法。光学传感器包括:光源装置,产生向对象物照射的光;受光部,接收来自对象物的反射光;分支部,将与光源装置光学耦合的第1光纤及与受光部光学耦合的第2光纤熔接并与朝向对象物的第3光纤的一端接合;以及处理部,以从第3光纤的另一端在无反射的状态下由受光部所检测出的受光量作为基准检测量,基于受光部中检测出的受光量相对于基准受光量的增量是否处于预定范围内,来判断第3光纤与分支部的接合部有无接合异常。

    传感头
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113439193A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202080014770.5

    申请日:2020-02-19

    Inventor: 古川慎也

    Abstract: 提供一种传感头,可在缩短测量时间的同时,提高测定精度。传感头100包括壳1,所述壳1具有:在内部具有透镜5的第一壳部2、在内部具有物镜7的第二壳部3、以及将第一壳部2与第二壳部3之间连接的第三壳部13;在第三壳部13,在内部配置有使从透镜5侧入射的光朝向物镜7侧弯曲的反射镜构件135,且设置有将分别形成于反射镜构件135及物镜7的贯通孔连通的中空的筒310。

    光学传感器以及光学传感器的异常检测方法

    公开(公告)号:CN109579705B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201810594215.9

    申请日:2018-06-11

    Abstract: 本发明提供一种无须设置传感器等附加检测机构便能够检测接合异常的光学传感器及光学传感器的异常检测方法。光学传感器包括:光源装置,产生向对象物照射的光;受光部,接收来自对象物的反射光;分支部,将与光源装置光学耦合的第1光纤及与受光部光学耦合的第2光纤熔接并与朝向对象物的第3光纤的一端接合;以及处理部,以从第3光纤的另一端在无反射的状态下由受光部所检测出的受光量作为基准检测量,基于受光部中检测出的受光量相对于基准受光量的增量是否处于预定范围内,来判断第3光纤与分支部的接合部有无接合异常。

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