光学式测定装置及光学式测定方法

    公开(公告)号:CN1657873A

    公开(公告)日:2005-08-24

    申请号:CN200510008337.8

    申请日:2005-02-17

    Abstract: 一种光学式测定装置及光学式测定方法,能高精度地进行对电极的周期配列图形的测定。当向测定对象的玻璃基板照射通过了聚光镜(114)的聚焦光时,发生由电极(31)的配列图形产生的衍射光,在基板的表面(3a)和背面(3b)上进行反射。在该表面反射光和背面反射光在接近于聚光状态的状态下射入的位置上配置一维CCD(122)。在一维CCD(122)上,各反射光分离后入射,同时m次的背面反射光射入到m次的表面反射光的入射位置与(m+1)次的表面反射光的入射位置之间。从由该一维CCD(122)得到的受光量数据中仅提取表面反射光的强度,基于其分布状态,测定电极(31)的配列图形。

    缺陷检查方法以及利用该方法的缺陷检查装置

    公开(公告)号:CN1844901A

    公开(公告)日:2006-10-11

    申请号:CN200610074167.8

    申请日:2006-04-07

    Abstract: 本发明提供一种缺陷检查方法以及利用该方法的缺陷检查装置,根据该方法以及装置,通过一次拍摄就能够检测出成形体表面的凹凸缺陷以及色彩缺陷。对于检查对象的工件表面,同时驱动同轴反射照明用的照明部(2A)和斜入射照明用的照明部(2B),并在该照明下用照相机(1)进行拍摄。在照明部(2A、2B)中分别设置有发出R、G、B各色彩光的光源(21R、21G、21B),并且,在照明部(2A)仅点亮这些三种光源中的一种,而在照明部(2B)点亮在照明部(2A)没有点亮的一种或两种光源。

    表面状态的检查方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101034070B

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200710086202.2

    申请日:2007-03-09

    CPC classification number: G01N21/9515 G01N21/8851

    Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中,固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2,并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中,为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势,进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时,以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。

    分光偏振测定法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1811357A

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN200610005149.4

    申请日:2006-01-13

    CPC classification number: G01J4/04

    Abstract: 本发明涉及一种分光偏振测定法和分光偏振器;温度改变或其他的因素会导致延迟器的延迟发生变化,并且这种变化致使表示光偏振态的参数产生测量误差,本发明是为了有效地减小这种测量误差,同时保持沟槽分光偏振器的多种特性。通过求解方程,由沟槽光谱P(σ)中包含的每个振动分量,得到参考相位函数φ1(σ)和φ2(σ),在测量光谱测定的斯托克斯参数S0(σ)、S1(σ)、S2(σ)和S3(σ)的同时,校准参考相位函数φ1(σ)和φ2(σ)。

    状态显示装置、状态显示系统以及无线发送装置

    公开(公告)号:CN108738051B

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN201810161131.6

    申请日:2018-02-27

    Abstract: 本发明提供状态显示装置、状态显示系统以及无线发送装置。状态显示装置基于来自多台无线发送装置的无线信号而显示各管理对象的状态,用户能够掌握不能良好地进行与无线发送装置之间的通信的情况。状态显示装置(20)具有多个状态显示用LED(34)和多个裕度显示用LED(35),在接收到表示管理对象的状态发生了变化的无线信号的情况下,进行与该管理对象相关联的状态显示用LED(34)的点亮/熄灭控制,并且控制配置在状态显示用LED(34)上的裕度显示用LED(35)以使通过点亮/熄灭来表示接收到的无线信号的接收强度是否为规定的阈值以上。

    分光偏振测定法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1841030B

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN200610068280.5

    申请日:2006-03-27

    CPC classification number: G01J4/04 G01J3/447

    Abstract: 本发明提供一种分光偏振测定法。在该沟槽分光偏振测定法中,有效消除了表示试样分光偏振特性的参数的测量误差,该误差是由于延迟器基于试样状态的各种延迟变化而引起的。关注的焦点是通过稳定透射过延迟器的光的入射方向可保持延迟器的延迟恒定;相对于该试样,该延迟器设置在光源这一侧,从而可有效消除与测量误差相关的影响,例如由于试样引起的光线方向变化。

    分光偏振测定法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1811357B

    公开(公告)日:2010-05-12

    申请号:CN200610005149.4

    申请日:2006-01-13

    CPC classification number: G01J4/04

    Abstract: 本发明涉及一种分光偏振测定法和分光偏振器;温度改变或其他的因素会导致延迟器的延迟发生变化,并且这种变化致使表示光偏振态的参数产生测量误差,本发明是为了有效地减小这种测量误差,同时保持沟槽分光偏振器的多种特性。通过求解方程,由沟槽光谱P(σ)中包含的每个振动分量,得到参考相位函数φ1(σ)和φ2(σ),在测量光谱测定的斯托克斯参数S0(σ)、S1(σ)、S2(σ)和S3(σ)的同时,校准参考相位函数φ1(σ)和φ2(σ)。

    光学式测定装置及光学式测定方法

    公开(公告)号:CN1321316C

    公开(公告)日:2007-06-13

    申请号:CN200510008337.8

    申请日:2005-02-17

    Abstract: 一种光学式测定装置及光学式测定方法,能高精度地进行对电极的周期配列图形的测定。当向测定对象的玻璃基板照射通过了聚光镜(114)的聚焦光时,发生由电极(31)的配列图形产生的衍射光,在基板的表面(3a)和背面(3b)上进行反射。在该表面反射光和背面反射光在接近于聚光状态的状态下射入的位置上配置一维CCD(122)。在一维CCD(122)上,各反射光分离后入射,同时m次的背面反射光射入到m次的表面反射光的入射位置与(m+1)次的表面反射光的入射位置之间。从由该一维CCD(122)得到的受光量数据中仅提取表面反射光的强度,基于其分布状态,测定电极(31)的配列图形。

    表面状态的检查方法以及表面状态检查装置

    公开(公告)号:CN101034070A

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200710086202.2

    申请日:2007-03-09

    CPC classification number: G01N21/9515 G01N21/8851

    Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中,固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2,并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中,为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势,进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时,以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。

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