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发明公开
预测装置、预测方法、记录有预测程序的记录介质及控制装置审中-实审

公开(公告)号：CN115409197A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210592096.X

申请日：2022-05-27

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 石井雅喜 , 远藤真 , 宫尾诚 , 唐泽岭 , 高见豪

IPC: G06N20/00 , H01L21/67

Abstract: 提供一种预测装置，具有：数据获取部，其获取表示控制对象的设定值的设定值数据、以及表示对上述控制对象进行控制而得到的成果的物理量的物理量数据；预测部，其利用上述设定值数据以及上述物理量数据，对基于用于上述控制对象的控制的设定值而预测上述成果的多个物理量的多个预测值进行计算；评价部，其基于预先规定的基准而对上述多个预测值进行评价；以及输出部，其将根据上述评价的结果而推荐的设定值输出。

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