公开(公告)号：CN114062286A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110882296.4

申请日：2021-08-02

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 铃木雄太 ,  北川雄真 ,  猿谷敏之 ,  蒲原敦彦

IPC: G01N21/31

Abstract: 本公开提供了一种气体分析系统，该气体分析系统包括：光发射元件，该光发射元件发射由预定的调制频率调制的激光；光接收元件，该光接收元件：接收已经穿过测量目标气体的激光；在接收激光后，输出具有N阶频率的接收信号，该N阶频率为预定的调制频率的n倍，其中n为不小于2的整数；以及信号处理设备，该信号处理设备：通过从具有N阶频率的第一分量中去除第二分量来计算第三分量，其中第二分量是在激光从光发射元件到光接收元件的光路上产生的光学干涉噪声的分量并且具有与第一分量相同的频率；并且基于第三分量的大小计算测量目标气体的浓度。

公开(公告)号：CN114062286B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202110882296.4

申请日：2021-08-02

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 铃木雄太 ,  北川雄真 ,  猿谷敏之 ,  蒲原敦彦

IPC: G01N21/31

Abstract: 本公开提供了一种气体分析系统，该气体分析系统包括：光发射元件，该光发射元件发射由预定的调制频率调制的激光；光接收元件，该光接收元件：接收已经穿过测量目标气体的激光；在接收激光后，输出具有N阶频率的接收信号，该N阶频率为预定的调制频率的n倍，其中n为不小于2的整数；以及信号处理设备，该信号处理设备：通过从具有N阶频率的第一分量中去除第二分量来计算第三分量，其中第二分量是在激光从光发射元件到光接收元件的光路上产生的光学干涉噪声的分量并且具有与第一分量相同的频率；并且基于第三分量的大小计算测量目标气体的浓度。