公开(公告)号：CN103929144B

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201410012729.0

申请日：2014-01-10

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  岩井滋人 ,  佐佐木义孝

IPC: H03H9/125 ,  H03H3/007

CPC classification number: H02N11/00 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2463 ,  Y10T29/49007

Abstract: 公开了谐振式换能器及其制造方法。谐振式换能器包括：谐振器；谐振器电极，其连接至所述谐振器的端部；至少一个固定电极，其布置在所述谐振器附近；和掩埋部分，其形成在所述固定电极和所述谐振器电极之间。所述谐振器、所述谐振器电极和所述固定电极被利用同一有源层形成在衬底上。

公开(公告)号：CN103929144A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201410012729.0

申请日：2014-01-10

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  岩井滋人 ,  佐佐木义孝

IPC: H03H9/125 ,  H03H3/007

CPC classification number: H02N11/00 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2463 ,  Y10T29/49007

Abstract: 公开了谐振式换能器及其制造方法。谐振式换能器包括：谐振器；谐振器电极，其连接至所述谐振器的端部；至少一个固定电极，其布置在所述谐振器附近；和掩埋部分，其形成在所述固定电极和所述谐振器电极之间。所述谐振器、所述谐振器电极和所述固定电极被利用同一有源层形成在衬底上。