公开(公告)号：CN113812005B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201980096350.3

申请日：2019-05-14

Applicant: 棱镜传感器公司

Inventor： 米特克·巴科夫斯基霍尔特里德 ,  马特斯·丹尼尔松 ,  许成

IPC: G01T1/24 ,  H01L29/06

Abstract: 所提出的技术提供了一种X射线传感器(1)，该X射线传感器具有有源检测器区，该有源检测器区包括布置在该X射线传感器(1)的表面区(3)上的多个检测器二极管(2)。该X射线传感器(1)进一步包括围绕包括该多个检测器二极管(2)的该表面区(3)的结终端(4)。该结终端(4)包括布置为最靠近该表面区(3)的端部的防护层(5)、布置在该防护层(5)外部的场截止层(6)和布置在该防护层(5)与该场截止层(6)之间的至少两个场限环FLR(7)，其中，第一FLR(7)被布置在距该防护层(20)的距离Δ1处，该距离选自10区间[4μm；12μm]，第二FLR(72)被布置在距该第一FLR(7)的距离Δ2处，该距离选自区间[6.5μm；14μm]，并且其中，距离Δ2大于距离Δ1。所提出的技术还提供了一种用于构造这样的X射线传感器和X射线成像系统(100)的方法，该X射线成像系统包括X射线检测器系统(20)，该X射线检测器系统包括至少一个这样的X射线传感器(1)。

公开(公告)号：CN113812005A

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN201980096350.3

申请日：2019-05-14

Applicant: 棱镜传感器公司

Inventor： 米特克·巴科夫斯基霍尔特里德 ,  马特斯·丹尼尔松 ,  许成

IPC: H01L29/06 ,  G01T1/24

Abstract: 所提出的技术提供了一种X射线传感器(1)，该X射线传感器具有有源检测器区，该有源检测器区包括布置在该X射线传感器(1)的表面区(3)上的多个检测器二极管(2)。该X射线传感器(1)进一步包括围绕包括该多个检测器二极管(2)的该表面区(3)的结终端(4)。该结终端(4)包括布置为最靠近该表面区(3)的端部的防护层(5)、布置在该防护层(5)外部的场截止层(6)和布置在该防护层(5)与该场截止层(6)之间的至少两个场限环FLR(7)，其中，第一FLR(7)被布置在距该防护层(20)的距离Δ1处，该距离选自10区间[4μm；12μm]，第二FLR(72)被布置在距该第一FLR(7)的距离Δ2处，该距离选自区间[6.5μm；14μm]，并且其中，距离Δ2大于距离Δ1。所提出的技术还提供了一种用于构造这样的X射线传感器和X射线成像系统(100)的方法，该X射线成像系统包括X射线检测器系统(20)，该X射线检测器系统包括至少一个这样的X射线传感器(1)。