一种溶胶凝胶法制备(400)晶面择优取向ITO薄膜的方法

    公开(公告)号:CN109234711B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201811114750.6

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明公开了一种溶胶凝胶法制备(400)晶面择优取向ITO薄膜的方法,其步骤包括:1)制备ITO溶胶;2)在干净的基片上匀胶;3)干燥;4)真空退火生长(400)晶面择优取向的ITO薄膜。本发明通过向ITO溶胶添加表面活性剂甲基纤维素MC‑400,并通过控制表面活性剂加入量、干燥和真空退火的温度及时间等工艺参数即可生长具有(400)择优取向的ITO薄膜。本发明采用一种新颖的溶胶‑凝胶技术实现了(400)晶面择优取向ITO薄膜的制备,具有工艺简单,成本低廉,易于实现工业化的特点,光电性能优异。

    一种溶胶凝胶法制备(400)晶面择优取向ITO薄膜的方法

    公开(公告)号:CN109234711A

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201811114750.6

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明公开了一种溶胶凝胶法制备(400)晶面择优取向ITO薄膜的方法,其步骤包括:1)制备ITO溶胶;2)在干净的基片上匀胶;3)干燥;4)真空退火生长(400)晶面择优取向的ITO薄膜。本发明通过向ITO溶胶添加表面活性剂甲基纤维素MC-400,并通过控制表面活性剂加入量、干燥和真空退火的温度及时间等工艺参数即可生长具有(400)择优取向的ITO薄膜。本发明采用一种新颖的溶胶-凝胶技术实现了(400)晶面择优取向ITO薄膜的制备,具有工艺简单,成本低廉,易于实现工业化的特点,光电性能优异。

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