公开(公告)号：CN109234711B

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201811114750.6

申请日：2018-09-25

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 朱归胜 ,  董玲 ,  徐华蕊 ,  赵昀云 ,  张秀云 ,  颜东亮

IPC: C23C18/12 ,  H01B13/00

Abstract: 本发明公开了一种溶胶凝胶法制备（400）晶面择优取向ITO薄膜的方法，其步骤包括：1）制备ITO溶胶；2）在干净的基片上匀胶；3）干燥；4）真空退火生长（400）晶面择优取向的ITO薄膜。本发明通过向ITO溶胶添加表面活性剂甲基纤维素MC‑400，并通过控制表面活性剂加入量、干燥和真空退火的温度及时间等工艺参数即可生长具有（400）择优取向的ITO薄膜。本发明采用一种新颖的溶胶‑凝胶技术实现了（400）晶面择优取向ITO薄膜的制备，具有工艺简单，成本低廉，易于实现工业化的特点，光电性能优异。

公开(公告)号：CN109234711A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201811114750.6

申请日：2018-09-25

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 朱归胜 ,  董玲 ,  徐华蕊 ,  赵昀云 ,  张秀云 ,  颜东亮

IPC: C23C18/12 ,  H01B13/00

Abstract: 本发明公开了一种溶胶凝胶法制备（400）晶面择优取向ITO薄膜的方法，其步骤包括：1）制备ITO溶胶；2）在干净的基片上匀胶；3）干燥；4）真空退火生长（400）晶面择优取向的ITO薄膜。本发明通过向ITO溶胶添加表面活性剂甲基纤维素MC-400，并通过控制表面活性剂加入量、干燥和真空退火的温度及时间等工艺参数即可生长具有（400）择优取向的ITO薄膜。本发明采用一种新颖的溶胶-凝胶技术实现了（400）晶面择优取向ITO薄膜的制备，具有工艺简单，成本低廉，易于实现工业化的特点，光电性能优异。