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公开(公告)号：CN116388722A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310267963.7
申请日：2023-03-20
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性云母衬底的耐高温声表面波器件及制造方法，涉及声表面波器件技术领域，其技术方案要点是：基于柔性云母衬底的耐高温声表面波器件，其结构从下至上依次为：柔性衬底、缓冲层、压电薄膜、叉指电极和保护层。采用耐高温云母柔性衬底，通过缓冲层的引入制备高质量AlN压电薄膜，设计加工纳米尺寸金属Pt叉指电极，辅以Al2O3保护层，实现稳定工作在800℃以上高温环境中的柔性高频声表面波器件。
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