电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定方法及系统

    公开(公告)号:CN106340339A

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201611039826.4

    申请日:2016-11-23

    IPC分类号: G21K1/093 H01J37/14 B23K15/00

    摘要: 本发明公开一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定方法及系统,电子束加工设备在加速电压和电子束流稳定的工况下,先通过调节聚焦电流从最小值逐渐增大最大值,并记录渐大过程中的本次渐大离散变化过程中的最大二次电子信号值所对应的聚焦电流值If0+,再通过调节聚焦电流从最大值逐渐增大最小值,并记录渐小离散变化过程中的最大二次电子信号值所对应的聚焦电流值If0-,后根据聚焦电流值If0+和If0-计算确定电子束聚焦于金属试件表面上的聚焦电流值If0,并将该聚焦电流值If0作为聚焦电流设定值,使得聚焦实际工作电流稳定于此值。本发明可以快速、精确地获取聚焦电流值。

    电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定方法及系统

    公开(公告)号:CN106340339B

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201611039826.4

    申请日:2016-11-23

    IPC分类号: G21K1/093 H01J37/14 B23K15/00

    摘要: 本发明公开一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定方法及系统,电子束加工设备在加速电压和电子束流稳定的工况下,先通过调节聚焦电流从最小值逐渐增大最大值,并记录渐大过程中的本次渐大离散变化过程中的最大二次电子信号值所对应的聚焦电流值If0+,再通过调节聚焦电流从最大值逐渐增大最小值,并记录渐小离散变化过程中的最大二次电子信号值所对应的聚焦电流值If0‑,后根据聚焦电流值If0+和If0‑计算确定电子束聚焦于金属试件表面上的聚焦电流值If0,并将该聚焦电流值If0作为聚焦电流设定值,使得聚焦实际工作电流稳定于此值。本发明可以快速、精确地获取聚焦电流值。

    电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定系统

    公开(公告)号:CN206210422U

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201621257870.8

    申请日:2016-11-23

    IPC分类号: G21K1/093 H01J37/14 B23K15/00

    摘要: 本实用新型公开一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定系统,中央控制单元用于承担整台设备的控制与监测,对电子束加工设备运行参数具有数字设定和数字采样功能,并产生控制指令。电子束发生器电源、聚焦电源、偏扫电源接受中央控制单元控制,并分别提供电子束发生器、聚焦装置中聚焦绕组和偏扫装置中x偏扫绕组和y偏扫绕组的驱动电源。变送器接受二次电子收集器信号,并通过整形放大送达中央控制单元。二次电子收集器接收电子束扫描过程产生的二次电子信息,并返回至中央控制单元。金属试件放置在真空工作室内电子束入口正下方,金属试件上表面与希望电子束聚焦于某高度平面平齐。本实用新型可以快速、精确地获取聚焦电流值。