带电粒子束加工设备聚焦系统校准标定方法

    公开(公告)号:CN111261314A

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN202010054663.7

    申请日:2020-01-17

    IPC分类号: G21K1/093

    摘要: 本发明提供了一种带电粒子束加工设备聚焦系统校准标定方法,通过建立带电粒子束扫描点合位移与扫描装置的理想n相绕组扫描轴线上相位移的一一对应关系、校正相绕组扫描线偏差、试验建立相绕组相位移数据与相绕组励磁电流的数学关系,推导出扫描点坐标与n相绕组励磁电流指令的数学模型,由励磁电流指令数学模型控制特征扫描线的点扫描,获得点扫描对应的精确聚焦电流指令,建立特征扫描线上扫描点坐标与聚焦电流指令的数学模型,最后推导出扫描域内扫描点坐标与聚焦电流指令的数学模型,完成校准标定工作,扫描系统将按照校准标定数据精确控制带电粒子束扫描轨迹,而聚焦系统将按照校准标定数据同步精确控制每个扫描点的聚焦。

    多相绕组偏转扫描装置的控制方法

    公开(公告)号:CN111161902A

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN202010055350.3

    申请日:2020-01-17

    IPC分类号: G21K1/093

    摘要: 本发明公开了一种多相绕组偏转扫描装置的控制方法,首先将第1相绕组的偏转扫描轨迹与直角坐标系中的x轴重合,将第1相绕组的轴线定义为直轴,带电粒子束斑点中心原始位置定义为直角坐标系原点;其次将偏转扫描轨迹依次分解成有限点直角坐标数据;再次将扫描点直角坐标数据按比例换算成对应点合励磁电流数据;然后将合励磁电流数据按圆形偏转扫描轨迹原则或正2n边形偏转扫描轨迹原则分解成n相绕组励磁电流数据;再将n相绕组励磁电流数据通过D/A转换器转换成对应的n相控制指令电信号输出至驱动电源,经过驱动电源的n相驱动电路线性放大后提供给对应的n相偏转扫描绕组作为励磁电流。

    电子束粉末床增材制造装备加速电源装置及其控制方法

    公开(公告)号:CN107689732B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN201710997070.2

    申请日:2017-10-20

    IPC分类号: H02M3/335 H02M7/48

    摘要: 一种电子束粉末床增材制造装备加速电源装置及其控制方法,该装置包括供电整流滤波单元、直流检测单元、中央控制装置、控制器、驱动单元、第一变换器、第二变换器、第一变压器、第二变压器及高压发生器,第一变换器、第一变压器和高压发生器中的第一高压整流滤波单元构成了第一LLC谐振逆变电路;第二变换器、第二变压器和高压发生器中的第二高压整流滤波单元构成了第二LLC谐振逆变电路。该方法包括对加速电源输出电压进行调节;控制器的调节运算;LLC逆变电路采用混合调节模式;控制器的监控功能。本发明能提高加速电源系统调节速度及降低高压放电的危害,降低加速电源系统两大主要干扰的动态降落及缩短恢复时间。

    自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法

    公开(公告)号:CN111477529B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202010425026.6

    申请日:2020-05-19

    IPC分类号: H01J29/48 H01J29/56

    摘要: 本发明公开自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法,采用分裂式罗柯夫斯基线圈作为检测元件,结合脉冲电子束技术,实现了电子束斑点形貌的无接触检测。分裂式罗柯夫斯基线圈以差模信号输出,以检测信号的最小值为消像散装置校正目标,既简化了检测信号的处理方式又消除了共模干扰信号的影响,提高检测的灵敏性和精度。分轴搜寻“最佳”消像散装置的励磁电流,实现快速搜寻。检测信号的幅值及平均值的加权值更能充分体现电子束斑点形貌的差异,以加权值综合数据作为判断依据,“最佳”值的两轮搜寻确认,进一步提高可靠性及减少随机性。

    一种多相绕组的偏转扫描装置及偏转扫描系统

    公开(公告)号:CN108305701B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN201810023162.5

    申请日:2018-01-10

    IPC分类号: G21K1/093

    摘要: 本发明涉及一种多相绕组的偏转扫描装置及偏转扫描系统,该偏转扫描装置呈轴对称的喇叭状或圆柱状结构,其包括:铁磁框架和偏转扫描绕组;在铁磁框架内侧开有纵向延伸并沿圆周等分分布的2aw个线槽,由铁磁框架内壁围城的空腔构成偏转扫描装置的带电粒子束通道;所述偏转扫描绕组包括:w相绕组;每相绕组均对应地连接一相驱动电源单元。还涉及一种扫描系统,该偏转扫描系统包括:偏转扫描装置、驱动电源单元、中央控制器。本发明的偏转扫描装置中,w相绕组的轴线在偏转扫描装置的横截面上呈对称分布,降低了带电粒子束通道内磁感应强度的不均匀度,进而减少偏转扫描装置对带电粒子束的附加散焦作用。