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公开(公告)号：CN118817145B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411259378.3
申请日：2024-09-10
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种纳米薄膜压力测量传感器。包括由上自下设置的输出座、连接罩、芯体总成、芯体安装座及引压底座，输出座和连接罩连接，连接罩内部为空腔结构，连接罩内部的空腔结构设有芯体总成，连接罩的下部和芯体安装座连接，芯体安装座及引压底座连接。本发明的有益效果在于：可应用于高精度变送器的设计与制造，有效规避了法兰夹持式取压结构对传感器芯体的外部应力和损伤影响，提高了传感器芯体的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN119178547A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411675701.5
申请日：2024-11-22
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 本发明属于光学传感技术领域，具体涉及一种基于MEMS制作工艺和光纤F‑P腔原理的波长调制型光学差压变送器。包括差压传感器、全光谱分析仪，差压传感器和全光谱分析仪以分体方式通过光纤光缆连接组合在一起。本发明的有益效果在于：（1）本发明基于光纤微机电系统（MEMS）微加工技术制造的光学差压变送器，实现了光纤MEMS传感器芯片化制作，结构简单，封装集成度高，外形尺寸微型化，具有体积小、重量轻、柔软、外形可变等优点；（2）本发明提出的光学差压变送器，采用光纤F‑P平板干涉机理和膜‑岛敏感结构，具有优良线性度，分辨率高，巨大的线性动态范围实现了超高精度测量。
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公开(公告)号：CN117330235B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311383758.3
申请日：2023-10-24
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器，连接环的一侧安装有高压腔体，连接环的另一侧安装有低压腔体，高压腔体位于连接环内侧的一端端面上设有弹性膜片，弹性膜片位于连接环内侧的一侧面上安装有桥臂，桥臂靠近低压腔体的一侧设有镀膜平面，镀膜平面上设有多层纳米薄膜，高压腔体内靠近弹性膜片的一侧设有高压侧保护块，低压腔体内靠近桥臂的一侧设有低压侧保护块，低压腔体的外周开设有传感器安装位，通过多层纳米薄膜感应桥臂的变形而产生电信号，多层纳米薄膜快速地将电信号输出，根据电信号并计算得出压差，极大地提高测量量程范围，实现从5kPa到250MPa全域覆盖。
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公开(公告)号：CN117604443A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202410079825.0
申请日：2024-01-19
Applicant: 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC: C23C8/26 , C21D1/18 , C21D1/773 , C21D9/00 , C23C8/80 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/16 , C23C14/22 , C23C14/58
Abstract: 本发明公开了一种耐辐照传感器芯体及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域，该制备方法包括以下步骤：将不锈钢弹性体抛光后渗氮、回火、沉积和光刻；渗氮后渗氮层的厚度为0.02mm~0.04mm；沉积分为下表面沉积和上表面沉积；下表面沉积为依次沉积氧化铌层和金层；上表面沉积为依次沉积绝缘层、敏感层、焊盘层和保护层。本发明通过对不锈钢弹性体进行渗氮处理，从而提升不锈钢弹性体的硬度；同时还能降低迟滞误差；本发明通过沉积金层，从而进一步降低核辐照敏感性。
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公开(公告)号：CN117433674A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311383753.0
申请日：2023-10-24
Applicant: 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式介质隔离差压传感器及变送器，属于传感器技术领域，包括高压感应室、低压感应室以及连接环。高压感应室的一端设置有弹性膜片且另一端设置有高压侧隔离膜片，高压感应室的内部形成第一油腔并填充有硅油，弹性膜片上设置有桥臂。低压感应室的一端设置有低压侧隔离膜片。弹性膜片、低压感应室以及低压侧隔离膜片之间形成第二油腔并填充有硅油。传感器内部的镀膜桥臂芯体和弹性膜片被两侧的第一油腔和第二油腔内的硅油所包覆，使得桥臂及弹性膜片均与被测流体隔离，能较好地保护桥臂和弹性膜片，便于封装，更利于检测带腐蚀性的流体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117330235A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311383758.3
申请日：2023-10-24
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器及变送器，连接环的一侧安装有高压腔体，连接环的另一侧安装有低压腔体，高压腔体位于连接环内侧的一端端面上设有弹性膜片，弹性膜片位于连接环内侧的一侧面上安装有桥臂，桥臂靠近低压腔体的一侧设有镀膜平面，镀膜平面上设有多层纳米薄膜，高压腔体内靠近弹性膜片的一侧设有高压侧保护块，低压腔体内靠近桥臂的一侧设有低压侧保护块，低压腔体的外周开设有传感器安装位，通过多层纳米薄膜感应桥臂的变形而产生电信号，多层纳米薄膜快速地将电信号输出，根据电信号并计算得出压差，极大地提高测量量程范围，实现从5kPa到250MPa全域覆盖。
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公开(公告)号：CN118817145A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411259378.3
申请日：2024-09-10
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种纳米薄膜压力测量传感器。包括由上自下设置的输出座、连接罩、芯体总成、芯体安装座及引压底座，输出座和连接罩连接，连接罩内部为空腔结构，连接罩内部的空腔结构设有芯体总成，连接罩的下部和芯体安装座连接，芯体安装座及引压底座连接。本发明的有益效果在于：可应用于高精度变送器的设计与制造，有效规避了法兰夹持式取压结构对传感器芯体的外部应力和损伤影响，提高了传感器芯体的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN117856166A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202211217801.4
申请日：2022-09-30
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 上海昱章电气股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种核电站旋转设备的超速保护系统，包括：电源转换分配模块，具有双冗余电源电路连接两路外部电源；转速信号采集转换与阈值比较模块，外接三个转速传感器，用于采集、转换三路转速信号，并进行阈值比较和判定；转速信号逻辑保护动作模块，将采集的三路转速信号送入三取二逻辑硬件电路，通过三取二逻辑硬件电路实现超速保护动作和动作信号输出；转速显示与报警输出模块，通过组态形式自由设置现场用户需要的显示信息。本发明还提供了一种超速保护装置。本发明提供的系统和装置超速保护系统采用三通道转速控制和三取二逻辑保护，有效地保证旋转设备的安全可靠运行。
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公开(公告)号：CN117433676A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311383797.3
申请日：2023-10-24
Applicant: 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器芯体及其应用，涉及传感器技术领域；该压力传感器芯体，包括：桥臂；桥臂的一侧设置有若干桥墩和若干桥洞；桥洞的截面为类梯形；类梯形的底角为30°～80°；桥臂的另一侧还设置有光刻电路和若干应变电阻；若干应变电阻形成惠斯通电桥；敏感电阻与桥洞对应设置。本发明的压力传感器包括弹膜腔体和桥臂结构，弹膜腔体与流体接触后，将流体压力转化为弹性膜片的微小弹性变形；而桥臂将弹性膜片的微小变形进行集中应力放大，从而实现1MPa以下小量程压力的测试。
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公开(公告)号：CN117387823A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311383754.5
申请日：2023-10-24
Applicant: 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器，包括高压腔体、弹性膜片、低压腔体、条形桥臂以及连接环，条形桥臂上镀有纳米薄膜层且在纳米薄膜层上光刻有敏感电阻和光刻电路，敏感电阻和光刻电路组成惠斯通全桥式电路，采用纳米镀膜及光刻敏感电阻技术，以及单弹性膜片加桥臂测量差压的这种结构可以使精度达到0.05％FS，最高使用温度可达400℃，量程从5kPa‑250MPa均可实现，具有广泛的应用前景。
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