一种半导体器件测试装置

    公开(公告)号:CN110726913A

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201810688781.6

    申请日:2018-06-28

    Abstract: 本发明提出了一种半导体测试装置,其包括:主体框架,压力机构,设在主体框架下部,压力机构包括压力传感器与加压装置,加压装置用于对测试器件施加压力,压力传感器用于测量加压装置所施加的压力,加热测试机构,设在压力机构的上方,加热测试机构用于对测试器件进行加热,承力机构,设在加热测试机构的上方,承力机构用于承载压力机构所施加的压力,高度调节机构,其用于调节加热测试机构的上下距离,以容纳不同高度的测试器件。使用本发明的优点在于,与现有技术相比,本发明的优点在于,可以实现单只及多只器件的高低温测试,并简化了压装测试操作,便于搬运,实现变换地点、简化测试的目的。

Patent Agency Ranking