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公开(公告)号：CN103703410B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280032194.2
申请日：2012-08-02
Applicant: 株式会社V技术
CPC classification number: G02F1/0136 , H01S3/0057
Abstract: 本发明公开了一种脉冲宽度扩展装置，其构成为具备：将入射的脉冲激光进行分光的偏振分光镜（1）；根据所施加的电压而将入射的脉冲激光进行偏振的电光元件（2a、2b）；通过向所述电光元件施加电压并对该电压进行控制，从而对入射到所述电光元件上的脉冲激光的偏振进行控制的偏振控制装置（3）；以及具有将通过了所述电光元件的脉冲激光反射并使其入射到所述偏振分光镜的多个反光镜（4a、4b、4c），并形成使脉冲激光再一次入射到所述电光元件的光路的光路形成装置（4），通过使由所述偏振分光镜分光的脉冲激光围绕所述光路旋转从而使相位错开，并将该相位错开的脉冲激光进行重合从而扩展其脉冲宽度。
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公开(公告)号：CN103636083A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201280030065.X
申请日：2012-07-09
Applicant: 株式会社V技术
IPC: H01S3/107
CPC classification number: H01S3/11 , H01S3/005 , H01S3/08054 , H01S3/092 , H01S3/10038 , H01S3/107 , H01S3/115 , H01S3/1611 , H01S3/1643 , H01S3/2308
Abstract: 本发明公开了一种脉冲激光振荡器，其具备：根据所施加的电压而使光产生偏振的第一电光元件、和向所述第一电光元件施加电压并对电压进行控制的电压控制装置，该脉冲激光振荡器通过所述电压控制装置使施加到所述第一电光元件的电压值时效地变化，从而控制激光的脉冲宽度。
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公开(公告)号：CN103703410A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280032194.2
申请日：2012-08-02
Applicant: 株式会社V技术
CPC classification number: G02F1/0136 , H01S3/0057
Abstract: 本发明公开了一种脉冲宽度扩展装置，其构成为具备：将入射的脉冲激光进行分光的偏振分光镜（1）；根据所施加的电压而将入射的脉冲激光进行偏振的电光元件（2a、2b）；通过向所述电光元件施加电压并对该电压进行控制，从而对入射到所述电光元件上的脉冲激光的偏振进行控制的偏振控制装置（3）；以及具有将通过了所述电光元件的脉冲激光反射并使其入射到所述偏振分光镜的多个反光镜（4a、4b、4c），并形成使脉冲激光再一次入射到所述电光元件的光路的光路形成装置（4），通过使由所述偏振分光镜分光的脉冲激光围绕所述光路旋转从而使相位错开，并将该相位错开的脉冲激光进行重合从而扩展其脉冲宽度。
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公开(公告)号：CN102308364A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080006400.3
申请日：2010-02-02
IPC: H01L21/027 , G02B26/10 , G02B27/09 , G03F7/20
CPC classification number: G02B27/0927 , G02B19/0014 , G02B19/0052 , G02B27/0961 , G03F7/70083 , G03F7/70191 , G03F7/70583
Abstract: 本发明提供一种激光曝光装置，其具备：第一蝇眼透镜(2)，其扩大激光的截面形状；第一光程差调整构件(3)，其配置于第一蝇眼透镜(2)的激光的入射侧且使向第一蝇眼透镜(2)的各聚光透镜(2a)分别入射的激光产生相位差；会聚透镜(4)，其将从第一蝇眼透镜(3)射出的激光转变为平行光；第二蝇眼透镜(6)，其将激光带来的光掩模的照明区域内的光强度分布均匀化；第二光程差调整构件(7)，其配置于第二蝇眼透镜(6)的激光的入射侧，使向第二蝇眼透镜(6)的各聚光透镜(6a)分别入射的激光产生相位差。由此，将由蝇眼透镜产生的激光的干涉条纹平均化，同时降低激光的照度不均。
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