公开(公告)号：CN120035880A

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202380072258.X

申请日：2023-12-01

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 奥野武志 ,  木下理裕 ,  桥爪瑞葵 ,  杨映保 ,  针谷香织 ,  后藤顺

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/064 ,  G02B6/42 ,  H01L21/20

Abstract: 激光退火装置具备射出激光的光源以及供所述激光从一端部入射并传输所述激光而将激光从另一端部射出的多模的光纤，其中，激光退火装置具备具有振动头部的振动源，所述光纤配置于所述振动头部的安装面，激光退火装置具备支承部，该支承部覆盖配置于所述安装面的所述光纤的区域且将所述光纤支承并按压于所述安装面，所述光纤与和该光纤接触的所述支承部的振动传递率设定为比所述安装面与所述光纤的振动传递率小。

公开(公告)号：CN118742994A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202380023503.8

申请日：2023-01-26

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 木下理裕 ,  杨映保 ,  鸟山诚也 ,  小杉纯一 ,  后藤顺 ,  泽井卓哉

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268

Abstract: 激光退火装置具备射出激光束的多个光束出射部，所述激光束由连续振荡激光构成且相对于被照射面具有长方形的光束点，所述激光退火装置使所述激光束相对于在基板上成膜的非晶硅膜沿着扫描方向相对地进行扫描，而将所述非晶硅膜的带状的改性预定区域晶化，其中，所述光束点的长边与正交于所述扫描方向的方向平行，所述光束点的长边的长度设定为比由于内部应力而使所述基板破损的长度短，其中，所述内部应力是伴随着基于所述激光束的照射引起的加热而产生的对所述基板来说固有的应力。

公开(公告)号：CN220474570U

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202190000998.9

申请日：2021-12-23

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 小杉纯一 ,  针谷香织 ,  木下理裕

IPC: H01L21/20

Abstract: 提供能够提高改性为晶化用膜为止的生产效率且实现省空间化及低成本化的激光退火装置。所述激光退火装置具备射出脱氢化用激光束的脱氢化用光学头，所述脱氢化用光学头以使所述脱氢化用激光束先于所述晶化用激光束地照射所述非晶硅膜中的至少改性预定区域来进行所述非晶硅膜的脱氢化的方式，相对于所述非晶硅膜向所述扫描方向相对地进行移动。