公开(公告)号：CN203837664U

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201420204535.6

申请日：2014-04-24

申请人： 株式会社V技术

发明人： 吉田太郎 ,  大渊一人 ,  上原诚

IPC分类号： G01B11/25

摘要： 本实用新型的形状测量装置通过提高光源光的受光效率，不提高光源输出，而确保所希望的受光量。形状测量装置(1)具备向被测量物体(W)的设置面(2)投射光的投光部(3)和接收由投光部(3)投射的光的受光部(4)，通过受光部(4)的输出来测量被测量物体的形状和尺寸，其中，投光部(3)具备光源(10)、入射从光源(10)射出的光的杆积分器(11)、以及具有能够取入从杆积分器(11)的光射出面(11A)射出的全光束的开口数和视场而且至少在被测量物体侧呈远心状态的投光光学系统(20)，受光部(4)具备接收被测量物体的投影影像的拍摄元件(12)和使设置面(2)与拍摄元件(12)的受光面成为共轭关系的物体侧远心受光光学系统(30)，投光光学系统(20)内部的开口光圈(22)与受光光学系统(30)内部的开口光圈(33)处于共轭关系。

公开(公告)号：CN204831214U

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201520431706.3

申请日：2015-06-19

申请人： 株式会社V技术

发明人： 吉田太郎 ,  上原诚

IPC分类号： G01B11/24

摘要： 本实用新型提供一种形状测定装置，其通过简单的结构而以维持高分辨的状态加大景深，所述形状测定装置包括：照明光学系统，其包含能够调节从光源射出的光的量的照明系统光圈，并且在被测物一侧为远心；以及成像光学系统，其包含成像系统光圈，所述成像系统光圈使被测物和接受由该被测物投影的图像的受光面成光学共轭的关系，并且所述成像系统光圈与照明系统光圈成共轭关系，所述成像系统光圈在该被测物一侧为远心；照明系统光圈和成像系统光圈中的至少一者具备可变机构。